OTTELIA – Intel­li­gen­te Point-of-Use Abwas­ser­auf­be­rei­tung für die Halbleiterindustrie

OTTELIA ist eine inno­va­ti­ve Lösung zur Ent­fer­nung von Sili­zi­um­di­oxid-Par­ti­keln (SiO2) aus
Pro­zess­ab­wäs­sern – ins­be­son­de­re aus nass­che­mi­schen Rei­ni­gungs- und Ätz­pro­zes­sen in der Halbleiterfertigung.

Die Anla­ge ent­fernt selbst feins­te Par­ti­kel zuver­läs­sig aus dem Abwas­ser und schafft damit die Vor­aus­set­zung für eine siche­re Rück­füh­rung des behan­del­ten Was­sers zur Wie­der­ver­wen­dung in der Abgasreinigung. 

Durch die mit OTTELIA ermög­lich­te Was­ser­wie­der­ver­wen­dung wird der Frisch­was­ser­be­darf für Rei­ni­gungs­pro­zes­se und damit auch die Betriebs­kos­ten erheb­lich gesenkt. Außer­dem wer­den Unter­neh­men dabei unter­stützt, ihre Umwelt­zie­le durch nach­hal­ti­ge Res­sour­cen­nut­zung zu erreichen.

Dank ihrer kom­pak­ten Bau­wei­se, hohen Trenn­leis­tung und ska­lier­ba­ren Kon­fi­gu­ra­ti­on lässt sich OTTELIA fle­xi­bel in bestehen­de Anla­gen inte­grie­ren – ob als Lösung für ein­zel­ne Pro­zes­se oder im Rah­men eines umfas­sen­den Wassermanagementsystems.

Höchs­te Effi­zi­enz für Ihre Abwasserbehandlung

Pro­fi­tie­ren Sie von:

  • Anpass­bar auf unter­schied­li­che Volu­men­strö­me und Partikelgrößen
  • Kom­pak­te Plug-and-Play-Einheit
  • Hohe Sys­tem­ef­fi­zi­enz ermög­licht direk­te Wasserwiederverwendung
  • Garan­tier­te Prozesssicherheit
  • Inte­grier­te Steue­rungs- und Messtechnik
  • Ver­rin­ger­ter Frisch­was­ser­ver­brauch und redu­zier­te Abwassermenge
  • Bei­trag zu nach­hal­ti­gem Was­ser­ma­nage­ment in der Halbleiterproduktion

OTTELIA im Überblick

OTTELIA besteht aus hoch­wer­ti­gen, pro­zess­si­cher inte­grier­ten Kom­po­nen­ten, basie­rend auf einer intel­li­gen­ten Kom­bi­na­ti­on aus Sedi­men­ta­ti­on und Fil­tra­ti­on. Im mehr­stu­fi­gen Rei­ni­gungs­pro­zess wer­den zunächst Par­ti­kel >15 µm im Lamel­len­schräg­klä­rer effi­zi­ent abge­schie­den. Anschlie­ßend ent­fernt ein Fein­fil­ter­sys­tem klei­ne­re Rest­par­ti­kel. Das auf­be­rei­te­te Was­ser kann direkt wie­der dem Aba­te­ment zuge­führt wer­den – für eine nach­hal­ti­ge Kreis­lauf­füh­rung im Pro­duk­ti­ons­pro­zess. Die Fest­stof­fe wer­den anschlie­ßend sicher im Schlamm­tank gesam­melt und der Ent­sor­gung zugeführt.

Das Abwas­ser­be­hand­lungs­sys­tem OTTELIA ist dar­auf aus­ge­legt, sich indi­vi­du­ell auf die Bedürf­nis­se unse­rer Kun­den sowie die jewei­li­ge Abwas­ser­zu­sam­men­set­zung anzu­pas­sen. Alle Anla­gen­mo­du­le – ein­schließ­lich des Tank­vo­lu­mens – sind ska­lier­bar und auf unter­schied­li­che Abwas­ser­men­gen opti­mier­bar. Damit lässt sich OTTELIA fle­xi­bel an diver­sen glo­ba­len Pro­duk­ti­ons­stand­or­ten ein­set­zen und kann schnell, sicher und kos­ten­ef­fi­zi­ent als Plug-and-Play-Sys­tem vor Ort instal­liert werden.

Abhän­gig von der Par­ti­kel­grö­ße und den Pro­zess­pa­ra­me­tern kom­men fol­gen­de Ver­fah­ren bzw. Anla­gen­kom­po­nen­ten zum Ein­satz:

  • Misch- und Ausgleichsbehälter
  • Lamel­len­schräg­klä­rer mit Klar­was­se­rü­ber­lauf für effek­ti­ve Feststoffsedimentation
  • Schlamm­tank & Abwassertank
  • Pum­pen und prä­zi­se Messtechnik
  • Schalt­schrank & Netz­werk-Switch zur Inte­gra­ti­on in das Leitsystem
  • Fle­xi­ble, red­un­dan­te Fil­ter­lö­sun­gen wie:
    Kar­tu­schen­fil­ter
    Ker­zen­fil­ter
    Beu­tel­fil­ter
    Mem­bran­fil­ter
  • Optio­nal: Polymerdosierung
OTTELIA Front Left Closed
OTTELIA Front Closed
OTTELIA Front Right Closed

Dank unse­rer lang­jäh­ri­gen Exper­ti­se konn­ten wir eine ein­zig­ar­ti­ge Anla­ge ent­wi­ckeln, die das gerei­nig­te Was­ser nach der Fein­fil­tra­ti­on direkt in die Abgas­rei­ni­gung zurück­führt. So ermög­li­chen wir geschlos­se­ne Was­ser­kreis­läu­fe in der Halb­lei­ter­fer­ti­gung und erfül­len zugleich die stei­gen­den Kun­den­an­for­de­run­gen an nach­hal­ti­ges Recycling.

Dr. Ani­ta Haupt

Direc­tor Pro­cess Design Glo­bal, DAS Envi­ron­men­tal Experts

Bereit, Ihre Abwas­ser­be­hand­lung auf ein neu­es Level zu heben? Unser Team unter­stützt Sie bei der indi­vi­du­el­len Aus­le­gung – vom Labor­maß­stab bis zur fer­ti­gen Anlage.

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​Fle­xi­bel inte­grier­bar & stark in der Wasserwiederverwendung

OTTELIA ist fle­xi­bel inte­grier­bar – sowohl hin­ter DAS-Abgas­be­hand­lungs­an­la­gen wie UPTIMIUM oder EDC PLUS als auch hin­ter Aba­te­ments ande­rer Her­stel­ler. Sie ermög­licht zudem eine nahe­zu voll­stän­di­ge Wie­der­ver­wen­dung des anfal­len­den Aba­te­ment-Abwas­sers. Die fei­nen SiO₂-Par­ti­kel wer­den zuver­läs­sig ent­fernt, sodass sie eine nahe­zu voll­stän­di­ge Wie­der­ver­wen­dung des anfal­len­den Aba­te­ment-Abwas­sers ermöglicht.

Das Ergeb­nis: Deut­lich redu­zier­ter Frisch­was­ser­be­darf und damit Sen­kung der Betriebs­kos­ten, Unter­stüt­zung bei der Erfül­lung unter­neh­mens­wei­ter ESG-Zie­le durch nach­hal­ti­ge­res Wassermanagement.

 

OTTELIA Subfab-Integration

Inte­gra­ti­on von OTTELIA in die Subfab

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