Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit ESCAPE (burn/wet)

Auf der Grund­la­ge der Bren­ner/­Wä­scher-Tech­no­lo­gie hat DAS Envi­ron­men­tal Expert die ESCAPE-Pro­dukt­li­nie ent­wi­ckelt, die sehr fle­xi­bel und kun­den­spe­zi­fisch zur Rei­ni­gung unter­schied­lichs­ter Pro­zess­ab­ga­se der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ein­ge­setzt wird. Die Medi­en­ver­sor­gung der Sys­te­me kann varia­bel aus­ge­führt wer­den.

Abgas­rei­ni­gung – ESCAPE

Behand­lung von Abga­sen mit ESCAPE

ESCAPE-Abgas­wä­scher (burn/wet) kön­nen platz­spa­rend auf­ge­stellt wer­den. Der Zugang für Bedie­nung und War­tung erfolgt von der Vor­der- bzw. Rück­sei­te. Die War­tung funk­tio­niert ein­fach und schnell, ohne dass spe­zi­el­le Werk­zeu­ge benö­tigt wer­den. Eine Pro­zess­kopp­lung ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll.

Funk­ti­ons­prin­zip der Abgas­rei­ni­gung mit ESCAPE

Die Abga­se wer­den direkt am Ort ihres Ent­ste­hens (Point-of-Use) besei­tigt. Dazu wer­den die Pro­zess­ab­ga­se in einen ring­för­mi­gen Bren­ner gelei­tet. Abhän­gig von ihrer che­mi­schen Zusam­men­set­zung kommt es zu ver­schie­de­nen Reak­tio­nen (Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on, Pyro­ly­se).

Im anschlie­ßen­den Wasch­pro­zess wer­den die im Ver­bren­nungs­pro­zess ent­stan­de­nen lös­li­chen, gas­för­mi­gen und fes­ten Bestand­tei­le durch eine ent­spre­chen­de Wasch­flüs­sig­keit gebun­den. Gleich­zei­tig erfolgt die schnel­le Abküh­lung der Ver­bren­nungs­pro­duk­te durch die Wasch­flüs­sig­keit.

Halo­gen­was­ser­stoff­säu­ren, die im Ver­bren­nungs­pro­zess ent­ste­hen, wer­den sofort aus­ge­wa­schen und neu­tra­li­siert. Der Ein­satz von ESCAPE im Rah­men eines umfas­sen­den Ent­sor­gungs­kon­zep­tes ermög­licht somit die Ein­hal­tung der TA Luft (recht­li­che Vor­schrift zur Rein­hal­tung der Luft).

ESCAPE DUO – Abgas­rei­ni­gung mit Back­up-Funk­ti­on

ESCAPE DUO ist unser Stan­dard­mo­dell, wel­ches sich viel­fach in der Indus­trie bewährt hat. Es besteht aus zwei Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­men, die par­al­lel zuein­an­der arbei­ten. Das Dop­pel­sys­tem ist opti­miert für bis zu vier unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se. Im Fal­le einer Betriebs­stö­rung oder der War­tung eines Reak­tors über­nimmt der jeweils ande­re Reak­tor die voll­stän­di­ge Abgas­be­hand­lung (inter­nes Back­up). Dadurch wird eine nahe­zu 100-pro­zen­ti­ge Ver­füg­bar­keit der Prozessanlage(n) erreicht. Unter­schied­li­che Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten kön­nen ver­wen­det wer­den. Die Anla­ge ist mit einem was­ser­spa­ren­den Wasch­flüs­sig­keits-Kreis­lauf­sys­tem aus­ge­stat­tet.

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • Je Reak­tor bis zu zwei getrenn­te Schad­gas­ein­läs­se
  • Back­up-Funk­ti­on der DUO-Sys­te­me erlaubt Ver­füg­bar­kei­ten grö­ßer als 99 %
  • Back­up-Reak­tor erlaubt unter­bre­chungs­frei­en Betrieb wäh­rend der War­tung
  • Ver­schie­de­ne Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten mög­lich
  • In zwei Höhen ver­füg­bar
  • Gerin­ger Was­ser­ver­brauch auf­grund des Kreis­lauf­sys­tems

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gas­aus­lass: max. 2 x DN100

Wei­te­re ESCAPE-Pro­duk­te

ESCAPE INLINE

ESCAPE INLINE ist unser Basis-Abgas­wä­scher (burn/wet) und kann mit bis zu vier sepa­ra­ten Schad­gas­ein­läs­sen aus­ge­stat­tet wer­den. Es kön­nen unter­schied­li­che Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten ver­wen­det wer­den. Alter­na­tiv zum Wasch­flüs­sig­keits-Kreis­lauf­sys­tem kön­nen wir die Anla­ge auch mit einem Wasch­flüs­sig­keits-Durch­lauf­sys­tem aus­rüs­ten.

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gas­aus­lass: max. DN100

Optio­nen für die Kon­fi­gu­ra­ti­on von ESCAPE

Grund­sätz­lich kön­nen alle ESCAPE-Anla­gen wie folgt optio­nal aus­ge­stat­tet wer­den

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Brenn­gas: NG, LPG, H2
  • Oxidant: O2, CDA
  • Hei­zung für Schad­gas­ein­läs­se und ‑lei­tun­gen
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung