Point-of-Use Abgasreinigung mit ESCAPE (burn/wet)

Auf der Grundlage der Brenner/Wäscher-Technologie hat DAS Environmental Expert die ESCAPE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung unterschiedlichster Prozessabgase der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt wird. Die Medienversorgung der Systeme kann variabel ausgeführt werden.

Abgasreinigung – ESCAPE

Behandlung von Abgasen mit ESCAPE

ESCAPE-Abgaswäscher (burn/wet) können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Wartung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Funktionsprinzip der Abgasreinigung mit ESCAPE

Die Abgase werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Dazu werden die Prozessabgase in einen ringförmigen Brenner geleitet. Abhängig von ihrer chemischen Zusammensetzung kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse).

Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen löslichen, gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit.

Halogenwasserstoffsäuren, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von ESCAPE im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzeptes ermöglicht somit die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).

ESCAPE DUO – Abgasreinigung mit Backup-Funktion

ESCAPE DUO ist unser Standardmodell, welches sich vielfach in der Industrie bewährt hat. Es besteht aus zwei Brenner/Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten. Das Doppelsystem ist optimiert für bis zu vier unabhängige Schadgaseinlässe. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung (internes Backup). Dadurch wird eine nahezu 100-prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Die Anlage ist mit einem wassersparenden Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgestattet.

Spezifikationen

  • Je Reaktor bis zu zwei getrennte Schadgaseinlässe
  • Backup-Funktion der DUO-Systeme erlaubt Verfügbarkeiten größer als 99 %
  • Backup-Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung
  • Verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten möglich
  • In zwei Höhen verfügbar
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: max. 2 x DN100

Weitere ESCAPE-Produkte

ESCAPE INLINE

ESCAPE INLINE ist unser Basis-Abgaswäscher (burn/wet) und kann mit bis zu vier separaten Schadgaseinlässen ausgestattet werden. Es können unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten verwendet werden. Alternativ zum Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem können wir die Anlage auch mit einem Waschflüssigkeits-Durchlaufsystem ausrüsten.

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: max. DN100

Optionen für die Konfiguration von ESCAPE

Grundsätzlich können alle ESCAPE-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG, H2
  • Oxidant: O2, CDA
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2-Zertifizierung