UPTIMUM - Effiziente Abgasreinigung bei CVD-Prozessen
UPTIMUM erweitert das Brenner-Wäscher-Portfolio von DAS Environmental Expert zugunsten einer höheren Anlagenverfügbarkeit (Uptime) bei speziellen CVD-Prozessen.
UPTIMUM – Leistungsstarke Lösungen am Point-of-Use
UPTIMUM-Abgasreinigungsanlagen können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Wartung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.
Effiziente Behandlung von Industrieprozessen mit UPTIMUM
UPTIMUM ist optimiert für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe aus CVD-Prozessen unterschiedlichster Industriebereiche. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. Die UPTIMUM PLUS ist speziell auf die Anforderungen von Prozessen der Silizium-Dünnschicht-Photovoltaik angepasst. Diese Variante kann höhere Mengen H2 und NF3 (bzw. F2) entsorgen, ohne dabei Abstriche bei der Anlagenverfügbarkeit machen zu müssen.
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die kompakte Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. In einem ringförmigen Brenner werden Prozessabgase je nach Zusammensetzung oxidiert, reduziert oder pyrolysiert. Eine anschließende Nasswäsche kühlt und bindet die entstehenden Verbindungen zuverlässig.
Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht eine sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – unter anderem mit Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit UPTIMUM
Optimiert für unterschiedlichste Applikationen in der Halbleiter- Photovoltaik- und LED-Industrie.
UPTIMUM – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
UPTIMUM (burn-wet)
Die Prozessabgase werden über maximal sechs separate Schadgaseinlässe in den Brennerraum geführt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Schadgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschstrecke, die nach dem Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von UPTIMUM im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzepts ermöglicht die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).
