Point-of-Use Abgasreinigung mit UPTIMUM

UPTIMUM erweitert das Brenner-Wäscher-Portfolio von DAS Environmental Expert zugunsten einer höheren Anlagenverfügbarkeit (Uptime) bei speziellen CVD-Prozessen. Das Brennen erfolgt von oben nach unten. UPTIMUM-Systeme sind bei unterschiedlichsten Applikationen in der Halbleiter- Photovoltaik- und LED-Industrie im Einsatz.

Abgasreinigung – UPTIMUM

Point-of-Use Abgasreinigung mit UPTIMUM

UPTIMUM-Abgasreinigungsanlagen können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Wartung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Funktionsprinzip der UPTIMUM-Abgaswäscher

Die Prozessabgase werden über maximal sechs separate Schadgaseinlässe in den Brennerraum geführt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Schadgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschstrecke, die nach dem Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von UPTIMUM im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzepts ermöglicht die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).

UPTIMUM – Effiziente Abgasreinigung am Point-of-Use bei CVD-Prozessen

UPTIMUM ist optimiert für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe aus CVD-Prozessen unterschiedlichster Industriebereiche. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. Die UPTIMUM PLUS  ist speziell auf die Anforderungen von Prozessen der Silizium-Dünnschicht-Photovoltaik angepasst. Diese Variante kann höhere Mengen H2 und NF3 (bzw. F2) entsorgen, ohne dabei Abstriche bei der Anlagenverfügbarkeit machen zu müssen.

Spezifikationen

  • Verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

 

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: bis zu 6 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: max. DN100

Konfigurationsoptionen

Grundsätzlich können alle UPTIMUM-Anlagen optional wie folgt ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG
  • Oxidant: O2, CDA
  • Kreislaufsystem: Wasser, Wasser mit Lauge
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2-Zertifizierung

Zertifikate