Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit UPTIMUM

UPTIMUM erwei­tert das Bren­ner-Wäscher-Port­fo­lio von DAS Envi­ron­men­tal Expert zuguns­ten einer höhe­ren Anla­gen­ver­füg­bar­keit (Uptime) bei spe­zi­el­len CVD-Pro­zes­sen. Das Bren­nen erfolgt von oben nach unten. UPTIMUM-Sys­te­me sind bei unter­schied­lichs­ten Appli­ka­tio­nen in der Halb­lei­ter- Pho­to­vol­ta­ik- und LED-Indus­trie im Ein­satz.

Abgas­rei­ni­gung – UPTIMUM

Behand­lung von Abga­sen mit UPTIMUM

UPTIMUM-Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen kön­nen platz­spa­rend auf­ge­stellt wer­den. Der Zugang für Bedie­nung und War­tung erfolgt von der Vor­der- bzw. Rück­sei­te. Die War­tung funk­tio­niert ein­fach und schnell, ohne dass spe­zi­el­le Werk­zeu­ge benö­tigt wer­den. Eine Pro­zess­kopp­lung ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll.

Funk­ti­ons­prin­zip der UPTIMUM-Abgas­wä­scher

Die Pro­zess­ab­ga­se wer­den über maxi­mal sechs sepa­ra­te Schad­gas­ein­läs­se in den Bren­ner­raum geführt. Abhän­gig von der che­mi­schen Zusam­men­set­zung der Schad­ga­se kommt es in der Flam­me zu ver­schie­de­nen Reak­tio­nen (Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on, Pyro­ly­se). Ein Flüs­sig­keits­film an der Reak­to­rin­nen­wand ver­hin­dert Kor­ro­si­on und die Abla­ge­rung von Fest­stoff­par­ti­keln. In der Wasch­stre­cke, die nach dem Reak­tor ange­ord­net ist, wer­den lös­li­che Kom­po­nen­ten absor­biert und Par­ti­kel sus­pen­diert. Gleich­zei­tig erfolgt die schnel­le Abküh­lung der Ver­bren­nungs­pro­duk­te durch die Wasch­flüs­sig­keit. Halo­gen­was­ser­stof­fe, die im Ver­bren­nungs­pro­zess ent­ste­hen, wer­den sofort aus­ge­wa­schen und neu­tra­li­siert. Der Ein­satz von UPTIMUM im Rah­men eines umfas­sen­den Ent­sor­gungs­kon­zepts ermög­licht die Ein­hal­tung der TA Luft (recht­li­che Vor­schrift zur Rein­hal­tung der Luft).

UPTIMUM – Effi­zi­en­te Abgas­rei­ni­gung am Point-of-Use bei CVD-Pro­zes­sen

UPTIMUM ist opti­miert für bis zu sechs unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se aus CVD-Pro­zes­sen unter­schied­lichs­ter Indus­trie­be­rei­che. Es kön­nen ver­schie­de­ne Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten ein­ge­setzt wer­den. Die UPTIMUM PLUS  ist spe­zi­ell auf die Anfor­de­run­gen von Pro­zes­sen der Sili­zi­um-Dünn­schicht-Pho­to­vol­ta­ik ange­passt. Die­se Vari­an­te kann höhe­re Men­gen H2 und NF3 (bzw. F2) ent­sor­gen, ohne dabei Abstri­che bei der Anla­gen­ver­füg­bar­keit machen zu müs­sen.

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • Ver­schie­de­ne Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten mög­lich
  • Gerin­ger Was­ser­ver­brauch auf­grund des Kreis­lauf­sys­tems

 

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: bis zu 6 x DN25 oder DN40
  • Gas­aus­lass: max. DN100

Kon­fi­gu­ra­ti­ons­op­tio­nen

Grund­sätz­lich kön­nen alle UPTIMUM-Anla­gen optio­nal wie folgt aus­ge­stat­tet wer­den:

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Brenn­gas: NG, LPG
  • Oxidant: O2, CDA
  • Kreis­lauf­sys­tem: Was­ser, Was­ser mit Lau­ge
  • Hei­zung für Schad­gas­ein­läs­se und ‑lei­tun­gen
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung

Zer­ti­fi­ka­te