EDC - Point-of-Use Abgasreinigung von ultrafeinen Partikeln

EDC steht für „Electrostatic Dust Collector“. Dieses System ist für die Behandlung von mikro- und nanopartikelhaltigen oder aerosolhaltigen Prozessabgasen perfekt geeignet, wie sie in der Photovoltaik-, LED- und Halbleiterindustrie anfallen.

Das Bild zeigt ein weißes industrielles Gerät, ausgestattet mit einem digitalen Bedienfeld und verschiedenen Tasten, das mit dem Markennamen "DAS" und der Aufschrift "EDC PLUS by DAS EE" gekennzeichnet ist.

EDC PLUS - Reduzierung der Emissionen von Mikro- und Nanopartikeln

EDC PLUS ist ein elektrostatischer Staubabscheider für die Behandlung von mikro- und nanopartikelhaltigen oder aerosolhaltigen Prozessabgasen bis zu 270 m³/h am Einsatzort. Das System ist für Anwendungen in der Halbleiterindustrie konzipiert, beispielsweise für die Behandlung von Partikelemissionen, die bei der Verwendung von Arsin (AsH₃) und Phosphin (PH₃) in der LED-Fertigung entstehen.

Vier Fachleute in dunkelblauen Hemden und weißen Schutzhelmen stehen lachend vor technischer Ausrüstung in einem Industriegebäude.

Effiziente Behandlung von Industrieprozessen mit EDC PLUS

Der EDC reduziert die Emission selbst feinster Partikel um bis zu 99,9 %. Ein Verblocken der Abgasleitungen wird wirkungsvoll verhindert. Er kann hinter den meisten partikelerzeugenden Abgasreinigungsanlagen eingesetzt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite.

Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit EDC PLUS

Optimiert für besonders partikel- und aerosolbelastete Prozesse in der Photovoltaik‑, LED‑, TFT/LCD- und Halbleiterindustrie

EDC PLUS – Technische Daten und Konfigurationsoptionen

EDC PLUS (Partikelabscheider)

Die Abgase werden in einen Vorwäscher und anschließend in einen Tank geleitet, der auch die Waschflüssigkeit enthält. Der Vorwäscher ist mit Düsen ausgestattet, die den Gasstrom mit Wasser sättigen und eine turbulente Strömung erzeugen. Anschließend wird das Abgas in die Rohre des elektrostatischen Staubabscheiders geleitet, wo die enthaltenen Mikro- und Nanopartikel ionisiert und auf dem geerdeten Waschflüssigkeitsfilm an der bespülten Wand abgeschieden werden. Der ausgefilterte Feinstaub wird in der Waschflüssigkeit suspendiert. Der elektrostatische Staubabscheider ist mit einem automatischen Selbstreinigungsmechanismus für die Sprühelektroden ausgestattet und verfügt über eine interne Backup-Funktion: Während eine Säulengruppe automatisch gereinigt wird, setzen die anderen Gruppen die Behandlung fort, um einen unterbrechungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Beratung und Verfahrensauswahl

Haben Sie Fragen zur EDC PLUS oder möchten Sie mehr über maßgeschneiderte Lösungen für Ihren Use Case erfahren? Lassen Sie uns ins Gespräch kommen!