EDC - Point-of-Use Abgasreinigung von ultrafeinen Partikeln
EDC steht für „Electrostatic Dust Collector“. Dieses System ist für die Behandlung von mikro- und nanopartikelhaltigen oder aerosolhaltigen Prozessabgasen perfekt geeignet, wie sie in der Photovoltaik-, LED- und Halbleiterindustrie anfallen.

EDC PLUS - Reduzierung der Emissionen von Mikro- und Nanopartikeln
EDC PLUS ist ein elektrostatischer Staubabscheider für die Behandlung von mikro- und nanopartikelhaltigen oder aerosolhaltigen Prozessabgasen bis zu 270 m³/h am Einsatzort. Das System ist für Anwendungen in der Halbleiterindustrie konzipiert, beispielsweise für die Behandlung von Partikelemissionen, die bei der Verwendung von Arsin (AsH₃) und Phosphin (PH₃) in der LED-Fertigung entstehen.

Effiziente Behandlung von Industrieprozessen mit EDC PLUS
Der EDC reduziert die Emission selbst feinster Partikel um bis zu 99,9 %. Ein Verblocken der Abgasleitungen wird wirkungsvoll verhindert. Er kann hinter den meisten partikelerzeugenden Abgasreinigungsanlagen eingesetzt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit EDC PLUS
Optimiert für besonders partikel- und aerosolbelastete Prozesse in der Photovoltaik‑, LED‑, TFT/LCD- und Halbleiterindustrie
