Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit dem Elek­tro­fil­ter EDC

Die Abkür­zung EDC steht für „elec­tro­sta­tic dust collec­tor“. Die­se Anla­gen schei­den Mikro- und Nano­par­ti­kel elek­tro­sta­tisch ab und sind somit für beson­ders par­ti­kel- und aero­sol­be­las­te­te Pro­zes­se in der Photovoltaik‑, LED‑, TFT/LCD- und Halb­lei­ter­indus­trie rele­vant.

Abgas­rei­ni­gung – EDC

Behand­lung von Abga­sen mit EDC

Der elek­tro­sta­ti­sche Abschei­der redu­ziert die Emis­si­on von Mikro- und Fein­staub­par­ti­keln bis zu 99,9 %. Ein Ver­blo­cken der Abgas­lei­tun­gen wird wir­kungs­voll ver­hin­dert. Der Elek­tro­fil­ter kann hin­ter die meis­ten Anla­gen zur Pro­zess­ab­gas­ent­sor­gung geschal­tet wer­den. Der Zugang für Bedie­nung und War­tung erfolgt von der Vor­der- bzw. Rück­sei­te.

Funk­ti­ons­prin­zip der EDC-Elek­tro­fil­ter

Die vor­ge­r­ei­nig­ten Pro­zess­ab­ga­se wer­den in einen Tank gelei­tet, der gleich­zei­tig als Vor­la­ge­be­häl­ter für die Wasch­flüs­sig­keit dient. Der Tank ist mit Düsen aus­ge­stat­tet, die den Abluft­strom mit Was­ser sät­ti­gen und für eine tur­bu­len­te Strö­mung sor­gen. Im Anschluss wer­den die Abga­se durch die Abschei­der-Säu­len geführt, wo ent­hal­te­ne Mikro- und Nano­par­ti­kel ioni­siert und auf dem geer­de­ten Wasch­flüs­sig­keits­film an der bespül­ten Wand abge­schie­den wer­den. Der aus­ge­fil­ter­te Staub wird in der Wasch­flüs­sig­keit sus­pen­diert. Der Abschei­der ver­fügt über ein Selbst­rei­ni­gungs­sys­tem für die Sprüh­elek­tro­den. Die ver­blei­ben­den Rest­ga­se ent­spre­chen den recht­li­chen Vor­schrif­ten zur Rein­hal­tung der Luft (TA Luft).

EDC/EDC PLUS – Redu­zie­rung der Emis­sio­nen von Mikro- und Nano­par­ti­keln am Point-of-Use

EDC und EDC PLUS sind elek­tro­sta­ti­sche Staub­ab­schei­der zur Point-of-Use Behand­lung von bis zu 270 m³/h par­ti­kel- bzw. aero­sol­be­las­te­ten Pro­zess­ab­ga­sen, wie sie bei­spiels­wei­se bei der Solar­zel­len­fer­ti­gung bzw. der LED- oder TFT/L­CD-Pro­duk­ti­on ent­ste­hen. Sili­zi­um­oxid und ande­re ver­blei­ben­de Par­ti­kel wer­den bis zu 99,9 % abge­schie­den.

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • Effi­zi­en­te Rei­ni­gung von mikro- und nano­par­ti­kel- bzw. aero­sol­be­las­te­ter Abluft
  • Die fes­ten Par­ti­kel wer­den in Flüs­sig­keit sus­pen­diert (kein Arbei­ten mit tro­cke­nem Staub)
  • Extrem gerin­ge Par­ti­kel­emis­si­on
  • Hoher Sicher­heits­stan­dard durch den Ein­satz von Sen­so­ren
  • Schnitt­stel­len zu vor­ge­schal­te­ten Abgas­ent­sor­gungs­sys­te­men

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 830/1500 mm x 855/1000 mm x 2100 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: DN100/DN150
  • Gas­aus­lass: DN100/DN200

Grund­sätz­lich kön­nen alle EDC-Anla­gen wie folgt optio­nal aus­ge­stat­tet wer­den

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Stütz­lüf­ter
  • Lau­gen­do­sie­rung
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung

Zer­ti­fi­ka­te