Point-of-Use Abgasreinigung mit dem Elektrofilter EDC

Die Abkürzung EDC steht für „electrostatic dust collector“. Diese Anlagen scheiden Mikro- und Nanopartikel elektrostatisch ab und sind somit für besonders partikel- und aerosolbelastete Prozesse in der Photovoltaik-, LED-, TFT/LCD- und Halbleiterindustrie relevant.

Abgasreinigung – EDC

Point-of-Use Staubabscheidung

Der elektrostatische Abscheider reduziert die Emission von Mikro- und Feinstaubpartikeln bis zu 99,9 %. Ein Verblocken der Abgasleitungen wird wirkungsvoll verhindert. Der Elektrofilter kann hinter die meisten Anlagen zur Prozessabgasentsorgung geschaltet werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite.

Funktionsprinzip der EDC-Elektrofilter

Die vorgereinigten Prozessabgase werden in einen Tank geleitet, der gleichzeitig als Vorlagebehälter für die Waschflüssigkeit dient. Der Tank ist mit Düsen ausgestattet, die den Abluftstrom mit Wasser sättigen und für eine turbulente Strömung sorgen. Im Anschluss werden die Abgase durch die Abscheider-Säulen geführt, wo enthaltene Mikro- und Nanopartikel ionisiert und auf dem geerdeten Waschflüssigkeitsfilm an der bespülten Wand abgeschieden werden. Der ausgefilterte Staub wird in der Waschflüssigkeit suspendiert. Der Abscheider verfügt über ein Selbstreinigungssystem für die Sprühelektroden. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

EDC/EDC PLUS – Reduzierung der Emissionen von Mikro- und Nanopartikeln am Point-of-Use

EDC und EDC PLUS sind elektrostatische Staubabscheider zur Point-of-Use Behandlung von bis zu 270 m³/h partikel- bzw. aerosolbelasteten Prozessabgasen, wie sie beispielsweise bei der Solarzellenfertigung bzw. der LED- oder TFT/LCD-Produktion entstehen. Siliziumoxid und andere verbleibende Partikel werden bis zu 99,9 % abgeschieden.

Spezifikationen

  • Effiziente Reinigung von mikro- und nanopartikel- bzw. aerosolbelasteter Abluft
  • Die festen Partikel werden in Flüssigkeit suspendiert (kein Arbeiten mit trockenem Staub)
  • Extrem geringe Partikelemission
  • Hoher Sicherheitsstandard durch den Einsatz von Sensoren
  • Schnittstellen zu vorgeschalteten Abgasentsorgungssystemen

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 830/1500 mm x 855/1000 mm x 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: DN100/DN150
  • Gasauslass: DN100/DN200

Grundsätzlich können alle EDC-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Stützlüfter
  • Laugendosierung
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2-Zertifizierung

Zertifikate