Point-of-Use Abgasreinigung mit ESCAPE DUO (Brenner-Wäscher)
Kompakte High-Performance-Abgaswäscher für Halbleiter- und Photovoltaikprozesse
ESCAPE DUO – modulare Brenner-Wäscher-Systeme für sichere und effiziente Prozessabgasreinigung
Behandlung von Abgasen
Die ESCAPE-Produktlinie ist die Basis unserer Point-of-Use Brenner-Wäscher-Technologie, die sich nun schon seit mehr als 25 Jahren am Markt bewährt. Der Abgaswäscher (burn-wet) wird sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung fast aller anfallenden Prozessabgase der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt.
Die platzsparenden Systeme können in unterschiedlichen Bauhöhen konfiguriert werden und zudem ist eine einfache Wartung ohne Spezialwerkzeug möglich! Auch die Medienversorgung kann variabel ausgeführt werden. Eine optionale Prozesskopplung steigert Sicherheit und senkt Betriebskosten – für effiziente und zuverlässige Abgasbehandlung direkt am Einsatzort.
Industrieprozesse mit ESCAPE DUO effizient behandeln
Die Herstellung von leistungsstarken Hightech-Produkten, wie Mikrochips, Photovoltaik-Module, Flachbildschirme oder Leuchtdioden, erfolgt in hochkomplexen, mehrstufigen Produktionsverfahren. Dabei entstehen in verschiedenen Teilschritten Abgase, die direkt am Ort des Entstehens (Point-of-Use) entsorgt werden müssen.
CVD – Chemische Gasphasenabscheidung
Bei der Chemical Vapor Deposition (CVD) entstehen durch chemische Reaktionen dünne Schichten auf Substraten, z. B. aus Siliziumnitrid oder Polysilizium.
Für die sichere Abgasreinigung dieser CVD- und MOCVD-Prozesse bietet DAS Environmental Experts effiziente Systeme wie ESCAPE, UPTIMUM, STYRAX und LARCH.
Ätzen
Beim Ätzen (Etching) werden Materialien mit chemischen Substanzen gezielt abgetragen – etwa in der Halbleiterfertigung. Dabei entstehende fluorhaltige Abgase reinigt DAS Environmental Experts zuverlässig mit ESCAPE- und STYRAX-Systemen auf Brenner-Wäscher-Basis.
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die kompakte Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. In einem ringförmigen Brenner werden Prozessabgase je nach Zusammensetzung oxidiert, reduziert oder pyrolysiert. Eine anschließende Nasswäsche kühlt und bindet die entstehenden Verbindungen zuverlässig. Je nach DAS-Abatement kann die Prozessführung abweichen.
Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht eine sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – unter anderem mit Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit ESCAPE DUO
Setzen Sie auf zuverlässige Brenner-Wäscher-Technologie – individuell konfigurierbar für Ihre Produktionsanforderungen.
ESCAPE DUO – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
ESCAPE DUO Abgaswäscher (burn-wet)
Die Abgase werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Dazu werden die Prozessabgase in einen ringförmigen Brenner geleitet. Abhängig von ihrer chemischen Zusammensetzung kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse).
Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen löslichen, gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit.
Halogenwasserstoffsäuren, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von ESCAPE im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzeptes ermöglicht somit die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).
