Point-of-Use Abgasreinigung mit ESCAPE DUO (Brenner-Wäscher)
Kompakte High-Performance-Abgaswäscher für Halbleiterprozesse
ESCAPE DUO – modulare Brenner-Wäscher-Systeme für sichere und effiziente Prozessabgasreinigung
Behandlung von Abgasen
Die ESCAPE-Produktlinie ist die Basis unserer Point-of-Use Brenner-Wäscher-Technologie, die sich nun schon seit mehr als 25 Jahren am Markt bewährt. Das Brenner-Wäscher-System wird sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung fast aller anfallenden Prozessabgase der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Die platzsparenden Systeme lassen sich ohne Spezialwerkzeug leicht warten. Eine optionale Prozessanbindung erhöht die Sicherheit und senkt die Betriebskosten – für eine effiziente und zuverlässige Abgasbehandlung direkt am Einsatzort.
Industrieprozesse mit ESCAPE DUO effizient behandeln
Die Halbleiterfertigung umfasst hochkomplexe, mehrstufige Produktionsprozesse. Ätz- und Chemical-Vapor-Deposition-(CVD)-Prozesse sind zentrale Prozessschritte, mit denen funktionale Schichten auf Wafern präzise strukturiert und aufgebaut werden. Dabei entstehen Prozessabgase, die direkt am Entstehungsort behandelt werden müssen, um einen sicheren, zuverlässigen und umweltgerechten Betrieb zu gewährleisten.
Ätzen
Beim Ätzen (Etch) werden Materialien mit chemischen Substanzen gezielt abgetragen – etwa in der Halbleiterfertigung. Dabei entstehende fluorhaltige Abgase reinigt DAS Environmental Experts zuverlässig mit ESCAPE-, TILIA- und STYRAX-Systemen auf Brenner-Wäscher-Basis.
CVD – Chemische Gasphasenabscheidung
Bei der Chemical Vapor Deposition (CVD) entstehen durch chemische Reaktionen dünne Schichten auf Substraten, z. B. aus Siliziumnitrid oder Polysilizium.
Für die sichere Abgasreinigung dieser CVD- und MOCVD-Prozesse bietet DAS Environmental Experts effiziente Systeme wie ESCAPE, TILIA, UPTIMUM, STYRAX und LARCH.
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die kompakte Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. In einem Reaktor mit Brenner werden Prozessabgase je nach Zusammensetzung oxidiert, reduziert oder pyrolysiert. Eine anschließende Nasswäsche kühlt und bindet die entstehenden Verbindungen zuverlässig. Je nach DAS-Abatement kann die Prozessführung abweichen.
Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht eine sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – unter anderem mit Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit ESCAPE DUO
Setzen Sie auf zuverlässige Brenner-Wäscher-Technologie – individuell konfigurierbar für Ihre Produktionsanforderungen.
