TILIA – Doppelreaktorsystem mit interner Redundanz
TILIA DUO ist ausgelegt, die steigenden Prozessgasströme effizient zu bewältigen und kann dadurch mehrere herkömmliche Abgasreinigungssysteme ersetzen.
TILIA – Abgasreinigung für anspruchsvolle Ätz- und CVD-Anwendungen in der Halbleiterindustrie
TILIA ist ein System zur Entsorgung von pyrophoren, fluorierten, toxischen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten, die in chemischen und physikalischen Prozessen in der Halbleiter- und Solarindustrie eingesetzt werden oder durch den Prozess entstehen. Die Entsorgung erfolgt durch Verbrennung und anschließende Behandlung in der Waschstrecke mittels Waschflüssigkeit wobei Partikel und lösliche Gasbestandteile abgeschieden werden. Im Verhältnis Footprint zu Durchsatz bietet TILIA eine hervorragende Effizienz. Durch die zusätzliche Integration eines Prozess-Tool-Interface können die Betriebskosten optimiert werden.
Industrieprozesse mit TILIA effizient behandeln
TILIA DUO
TILIA DUO überzeugt durch hohe Effizienz und Leistungsfähigkeit: Das System ist darauf ausgelegt, steigende Prozessgasströme zuverlässig zu bewältigen und kann damit mehrere herkömmliche Abgasreinigungssysteme ersetzen. Es eignet sich für eine breite Palette anspruchsvoller Anwendungen in der Halbleiter- und Materialfertigung – darunter CVD, Ätzprozesse (Metall, Poly, Oxide), Epitaxie, GaN, MOCVD und LED-Produktion. Dadurch bietet TILIA DUO maximale Flexibilität, Prozesssicherheit und Kosteneffizienz.
Best-in-Class Abatement System: TILIA übertrifft SEMI SCC Benchmarks für Treibhausgase
DAS Environmental Experts bekräftigt seine Führungsrolle in der nachhaltigen Emissionskontrolle für die Halbleiterindustrie – unabhängige Validierungsergebnisse zeigen, dass das Abatement-System TILIA eine Zerstörungs- und Entfernungseffizienz (DRE) von über 99,9 % für CF₄ und andere fluorierte Treibhausgase erreicht. Diese Leistung übertrifft die im SEMI SCC Whitepaper „Overview of FGHG and Nitrous Oxide Semiconductor Abatement Technologies“ (2024) definierten Zielwerte, die neue Branchenbenchmarks mit einer Mindest-DRE von >95 % und einem angestrebten Wert von >99 % festlegen. TILIA beweist, dass noch höhere Wirkungsgrade nicht nur technisch erreichbar, sondern auch mit konkreten Vorteilen in Bezug auf Nachhaltigkeit und Wirtschaftlichkeit verbunden sind.
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die kompakte Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. In einem ringförmigen Brenner werden Prozessabgase je nach Zusammensetzung oxidiert, reduziert oder pyrolysiert. Eine anschließende Nasswäsche kühlt und bindet die entstehenden Verbindungen zuverlässig.
Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht eine sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – unter anderem mit Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit TILIA
Effiziente Behandlung von pyrophoren, fluorierten, giftigen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten.
TILIA – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
TILIA (burn-wet)
Das Abgas wird in den Verbrennungsreaktor geleitet und dort mit Brenngas (Erdgas, Propan, Wasserstoff) und einem Oxidationsmittel verbrannt. Es strömt konstruktionsbedingt von oben nach unten. Die hohen Temperaturen spalten die chemischen Bindungen, die zu stabilen Verbindungen oxidieren und anschließend in der Waschstrecke ausgewaschen werden.
Das behandelte Abgas durchläuft den Wäscher im Gegenstromprinzip. Mehrere Sprühdüsen und ein Demister sorgen dafür, dass Waschflüssigkeit in den Gasstrom gelangt, Partikel suspendiert werden und saure Bestandteile durch basische Flüssigkeit neutralisiert werden.
Unter Brenner und Wäscher befindet sich ein Tank als Sammelbehälter für die Waschflüssigkeit (Wasser, ggf. mit Lauge). Die Flüssigkeit zirkuliert im Kreislauf und absorbiert lösliche Gase. Wärmeübertrager verhindern Überhitzung. Im Demister abgeschiedene Tropfen gelangen zurück in den Waschflüssigkeitsbehälter.
