TILIA – Doppelreaktorsystem mit interner Redundanz (Brenner-Wäscher)
TILIA DUO ist ausgelegt, die steigenden Prozessgasströme effizient zu bewältigen und kann dadurch mehrere herkömmliche Abgasreinigungssysteme ersetzen.
TILIA – Abgasreinigung für anspruchsvolle Ätz- und CVD-Anwendungen in der Halbleiterindustrie
TILIA ist ein System zur Entsorgung von pyrophoren, fluorierten, toxischen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten, die in chemischen und physikalischen Prozessen in der Halbleiter- und Solarindustrie eingesetzt werden oder durch den Prozess entstehen. Die Entsorgung erfolgt durch Verbrennung und anschließende Behandlung in der Waschstrecke mittels Waschflüssigkeit wobei Partikel und lösliche Gasbestandteile abgeschieden werden. Im Verhältnis Footprint zu Durchsatz bietet TILIA eine hervorragende Effizienz. Durch die zusätzliche Integration eines Prozess-Tool-Interface können die Betriebskosten optimiert werden.
Industrieprozesse mit TILIA effizient behandeln
TILIA DUO
TILIA DUO überzeugt durch hohe Effizienz und Leistungsfähigkeit: Das System ist darauf ausgelegt, steigende Prozessgasströme zuverlässig zu bewältigen und kann damit mehrere herkömmliche Abgasreinigungssysteme ersetzen. Es eignet sich für eine breite Palette anspruchsvoller Anwendungen in der Halbleiter- und Materialfertigung – darunter CVD, Ätzprozesse (Metall, Poly, Oxide), Epitaxie, GaN, MOCVD und LED-Produktion. Dadurch bietet TILIA DUO maximale Flexibilität, Prozesssicherheit und Kosteneffizienz.
Best-in-Class Abatement System: TILIA übertrifft SEMI SCC Benchmarks für Treibhausgase
DAS Environmental Experts bekräftigt seine Führungsrolle in der nachhaltigen Emissionskontrolle für die Halbleiterindustrie – unabhängige Validierungsergebnisse zeigen, dass das Abatement-System TILIA eine Zerstörungs- und Entfernungseffizienz (DRE) von über 99,9 % für CF₄ und andere fluorierte Treibhausgase erreicht. Diese Leistung übertrifft die im SEMI SCC Whitepaper „Overview of FGHG and Nitrous Oxide Semiconductor Abatement Technologies“ (2024) definierten Zielwerte, die neue Branchenbenchmarks mit einer Mindest-DRE von >95 % und einem angestrebten Wert von >99 % festlegen. TILIA beweist, dass noch höhere Wirkungsgrade nicht nur technisch erreichbar, sondern auch mit konkreten Vorteilen in Bezug auf Nachhaltigkeit und Wirtschaftlichkeit verbunden sind.
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. Prozessgase werden je nach Zusammensetzung in einem Reaktor mit Brenner oxidiert, reduziert oder einer Pyrolyse unterzogen. Eine anschließende Nasswäsche kühlt die entstehenden Verbindungen zuverlässig ab und bindet sie. Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht die sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – einschließlich solcher, die Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff enthalten – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit TILIA
Effiziente Behandlung von pyrophoren, fluorierten, giftigen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten.
