Abwasserreinigung in der Halbleiterindustrie – auf dem Wege von der Entsorgung zur Wertstoff-Rückgewinnung

Um beispielsweise Oberflächen zu reinigen oder dünne Schichten zu erzeugen, benötigen Halbleiterhersteller in ihrer Produktion die verschiedensten Chemikalien. Als Spezialist für Point-of-Use Entsorgungstechnologie besitzt die DAS Environmental Expert GmbH nicht nur umfangreiches Knowhow in der Entsorgung von Prozessabgasen, sondern auch Expertise für die komplette Abwasserbehandlung.

Halbleiterhersteller produzieren umweltfreundlich durch kombinierte Abgas- und Abwasserbehandlung

DAS bietet ein umfangreiches und durchdachtes Portfolio für die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Zum Angebot dieser Branche gehören Prozessoren und Speicherchips, die in großen Mengen auf Siliziumwafern hergestellt werden. Auch integrierte Schaltkreise für spezielle Einsatzzwecke, beispielsweise Leistungsbauteile oder Spezialchips für die Automobilindustrie, sind hier zu nennen. Leuchtdioden (LED/OLED) oder Hochleistungschips, die auf Wafern aus Verbindungshalbleitern wie Galliumarsenid, Galliumnitrid, Indiumphosphid oder Siliziumkarbid produziert werden, vervollständigen das Portfolio. Entsprechend breit ist auch die Palette der Verfahren sowie

der Prozessgase und anderen Chemikalien, die in der Produktion eingesetzt werden. Einige davon gelten als Treibhausgase, mit teilweise extrem hoher Klimawirkung. Andere sind giftig und/oder leicht entzündlich. Daher sollten diese Substanzen auf gar keinen Fall in die Umwelt gelangen. Mit unseren Anlagen sorgen wir seit vielen Jahren dafür, dass die Chipproduktion mit hohen Ansprüchen an den Schutz von Mensch und Umwelt einhergeht. Wir sind bestens vertraut mit höchsten Anforderungen an Reinheit, Zuverlässigkeit und Sicherheit, denn die Halbleiterindustrie zählt seit der Unternehmensgründung zu unseren wichtigsten Kunden.

Vom Reinstwasser zum Abwasser – DAS bietet langjährige Erfahrungen im Bereich der Halbleiterindustrie

Um einen sicheren Betrieb der Chipfabriken zu gewährleisten, hat die DAS Environmental Expert GmbH Anlagen entwickelt, die Abgase direkt am Ort ihrer Entstehung reinigen. Eigens dafür haben wir eine Kombination aus Brenner und Wäscher entwickelt, die wenig Platz benötigt und gefährliche Stoffe aus Abgasen zuverlässig entfernt. In Abhängigkeit von der Prozessführung erfolgt in der Flamme ihre Oxidation/Reduktion bzw. Pyrolyse. Anschließend werden in einem Waschvorgang lösliche Komponenten und Partikel in einer geeigneten Waschflüssigkeit gebunden.

Übrig bleibt ein partikelfreies, ungefährliches Gasgemisch, das über die Abluft freigesetzt werden kann. Um die Aufbereitung der Waschflüssigkeit kümmern wir uns – und, wenn Sie möchten, gern auch um die Behandlung Ihrer Abwässer aus Wet-Prozessen, wie Ätzen oder Planarisieren. Das gilt auch für Linien, die Wafer aus Verbindungshalbleitern, wie Galliumarsenid, verarbeiten.

Mit speziell für die jeweilige Fab kundenspezifisch zusammengestellten Verfahren werden die verschiedenen Schadstoffe bis unter das gesetzlich geforderte Limit aus dem Abwasser entfernt. Wir verfügen dafür über ein breites Portfolio an zuverlässigen Verfahren, für z.B. Fluoridentfernung, Abbau von Ammonium und organischen Wasserinhaltsstoffen. Nach der Oxidation von dreiwertigem Arsenit in fünfwertiges Arsenat kann eine Filtration oder Fällung vorgenommen werden. Auch Eisenhydroxid-Granulat kann zur Arsen-Entfernung verwendet werden. Alternativ kann die Abtrennung von Arsen und Schwermetallen mit dotierter Aktivkohle erfolgen. Kommen begleitend weitere metallische Komponenten im Abwasser vor, so können zusätzlich gezielte Behandlungsmethoden, wie die Fällung durch Einsatz von Organosulfiden, eingesetzt werden.

Zuverlässiger Service durch DAS-Niederlassungen weltweit

Wir sind so international wie unsere Kunden: Die DAS Environmental Expert GmbH ist weltweit tätig und überall vertreten, wo Unternehmen der Halbleiterbranche produzieren. Unser Service ist rund um die Uhr für Sie da – egal, ob in 24/7 Rufbereitschaft oder als fest installiertes on-site Team. Gern bieten wir Ihnen auch ein Gesamtpaket an, das die Reinstwasserversorgung mit einschließt.

Umweltschutz endet für uns aber nicht mit einer zuverlässigen Entsorgung. Derzeit arbeiten wir an Verfahren, die es gestatten, Wertstoffe wie beispielsweise Seltene Erden aus Abwässern zurückzugewinnen. Damit setzen wir schon heute Maßstäbe in einer Technologie, die in der Zukunft erheblich an Bedeutung gewinnen wird.