Abwas­ser­rei­ni­gung in der Halb­lei­ter­indus­trie – auf dem Wege von der Ent­sor­gung zur Wert­stoff-Rück­ge­win­nung

Um bei­spiels­wei­se Ober­flä­chen zu rei­ni­gen oder dün­ne Schich­ten zu erzeu­gen, benö­ti­gen Halb­lei­ter­her­stel­ler in ihrer Pro­duk­ti­on die ver­schie­dens­ten Che­mi­ka­li­en. Als Spe­zia­list für Point-of-Use Ent­sor­gungs­tech­no­lo­gie besitzt die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH nicht nur umfang­rei­ches Know­how in der Ent­sor­gung von Pro­zess­ab­ga­sen, son­dern auch Exper­ti­se für die kom­plet­te Abwas­ser­be­hand­lung.

Halb­lei­ter­her­stel­ler pro­du­zie­ren umwelt­freund­lich durch kom­bi­nier­te Abgas- und Abwas­ser­be­hand­lung

DAS bie­tet ein umfang­rei­ches und durch­dach­tes Port­fo­lio für die Anfor­de­run­gen der Halb­lei­ter­indus­trie. Zum Ange­bot die­ser Bran­che gehö­ren Pro­zes­so­ren und Spei­cher­chips, die in gro­ßen Men­gen auf Sili­zi­um­wa­fern her­ge­stellt wer­den. Auch inte­grier­te Schalt­krei­se für spe­zi­el­le Ein­satz­zwe­cke, bei­spiels­wei­se Leis­tungs­bau­tei­le oder Spe­zi­al­chips für die Auto­mo­bil­in­dus­trie, sind hier zu nen­nen. Leucht­di­oden (LED/OLED) oder Hoch­leis­tungs­chips, die auf Wafern aus Ver­bin­dungs­halb­lei­tern wie Gal­li­um­ar­se­nid, Gal­li­um­ni­trid, Indi­um­phos­phid oder Sili­zi­um­kar­bid pro­du­ziert wer­den, ver­voll­stän­di­gen das Port­fo­lio. Ent­spre­chend breit ist auch die Palet­te der Ver­fah­ren sowie

der Pro­zess­ga­se und ande­ren Che­mi­ka­li­en, die in der Pro­duk­ti­on ein­ge­setzt wer­den. Eini­ge davon gel­ten als Treib­haus­ga­se, mit teil­wei­se extrem hoher Kli­ma­wir­kung. Ande­re sind gif­tig und/oder leicht ent­zünd­lich. Daher soll­ten die­se Sub­stan­zen auf gar kei­nen Fall in die Umwelt gelan­gen. Mit unse­ren Anla­gen sor­gen wir seit vie­len Jah­ren dafür, dass die Chip­pro­duk­ti­on mit hohen Ansprü­chen an den Schutz von Mensch und Umwelt ein­her­geht. Wir sind bes­tens ver­traut mit höchs­ten Anfor­de­run­gen an Rein­heit, Zuver­läs­sig­keit und Sicher­heit, denn die Halb­lei­ter­indus­trie zählt seit der Unter­neh­mens­grün­dung zu unse­ren wich­tigs­ten Kun­den.

Vom Reinst­was­ser zum Abwas­ser – DAS bie­tet lang­jäh­ri­ge Erfah­run­gen im Bereich der Halb­lei­ter­indus­trie

Um einen siche­ren Betrieb der Chip­fa­bri­ken zu gewähr­leis­ten, hat die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH Anla­gen ent­wi­ckelt, die Abga­se direkt am Ort ihrer Ent­ste­hung rei­ni­gen. Eigens dafür haben wir eine Kom­bi­na­ti­on aus Bren­ner und Wäscher ent­wi­ckelt, die wenig Platz benö­tigt und gefähr­li­che Stof­fe aus Abga­sen zuver­läs­sig ent­fernt. In Abhän­gig­keit von der Pro­zess­füh­rung erfolgt in der Flam­me ihre Oxidation/Reduktion bzw. Pyro­ly­se. Anschlie­ßend wer­den in einem Wasch­vor­gang lös­li­che Kom­po­nen­ten und Par­ti­kel in einer geeig­ne­ten Wasch­flüs­sig­keit gebun­den.

Übrig bleibt ein par­ti­kel­frei­es, unge­fähr­li­ches Gas­ge­misch, das über die Abluft frei­ge­setzt wer­den kann. Um die Auf­be­rei­tung der Wasch­flüs­sig­keit küm­mern wir uns – und, wenn Sie möch­ten, gern auch um die Behand­lung Ihrer Abwäs­ser aus Wet-Pro­zes­sen, wie Ätzen oder Pla­na­ri­sie­ren. Das gilt auch für Lini­en, die Wafer aus Ver­bin­dungs­halb­lei­tern, wie Gal­li­um­ar­se­nid, ver­ar­bei­ten.

Mit spe­zi­ell für die jewei­li­ge Fab kun­den­spe­zi­fisch zusam­men­ge­stell­ten Ver­fah­ren wer­den die ver­schie­de­nen Schad­stof­fe bis unter das gesetz­lich gefor­der­te Limit aus dem Abwas­ser ent­fernt. Wir ver­fü­gen dafür über ein brei­tes Port­fo­lio an zuver­läs­si­gen Ver­fah­ren, für z.B. Fluo­rident­fer­nung, Abbau von Ammo­ni­um und orga­ni­schen Was­ser­in­halts­stof­fen. Nach der Oxi­da­ti­on von drei­wer­ti­gem Arse­nit in fünf­wer­ti­ges Arse­nat kann eine Fil­tra­ti­on oder Fäl­lung vor­ge­nom­men wer­den. Auch Eisen­hy­dro­xid-Gra­nu­lat kann zur Arsen-Ent­fer­nung ver­wen­det wer­den. Alter­na­tiv kann die Abtren­nung von Arsen und Schwer­me­tal­len mit dotier­ter Aktiv­koh­le erfol­gen. Kom­men beglei­tend wei­te­re metal­li­sche Kom­po­nen­ten im Abwas­ser vor, so kön­nen zusätz­lich geziel­te Behand­lungs­me­tho­den, wie die Fäl­lung durch Ein­satz von Orga­no­sul­fi­den, ein­ge­setzt wer­den.

Zuver­läs­si­ger Ser­vice durch DAS-Nie­der­las­sun­gen welt­weit

Wir sind so inter­na­tio­nal wie unse­re Kun­den: Die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH ist welt­weit tätig und über­all ver­tre­ten, wo Unter­neh­men der Halb­lei­ter­bran­che pro­du­zie­ren. Unser Ser­vice ist rund um die Uhr für Sie da – egal, ob in 24/7 Ruf­be­reit­schaft oder als fest instal­lier­tes on-site Team. Gern bie­ten wir Ihnen auch ein Gesamt­pa­ket an, das die Reinst­was­ser­ver­sor­gung mit ein­schließt.

Umwelt­schutz endet für uns aber nicht mit einer zuver­läs­si­gen Ent­sor­gung. Der­zeit arbei­ten wir an Ver­fah­ren, die es gestat­ten, Wert­stof­fe wie bei­spiels­wei­se Sel­te­ne Erden aus Abwäs­sern zurück­zu­ge­win­nen. Damit set­zen wir schon heu­te Maß­stä­be in einer Tech­no­lo­gie, die in der Zukunft erheb­lich an Bedeu­tung gewin­nen wird.