PFAS in der Halbleiterfertigung
Erfahren Sie, wie fortschrittliche Lösungen zur Abgas- und Wasseraufbereitung dazu beitragen können, PFAS-Emissionen zu bekämpfen und eine sauberere, nachhaltigere Chip-Herstellung zu unterstützen.
PFAS: Verantwortung erkennen und Lösungen ermöglichen
Die Belastung europäischer Gewässer mit langlebigen Chemikalien gehört zu den zentralen umweltpolitischen Herausforderungen der letzten Jahrzehnte. Besonders im Fokus stehen Per- und Polyfluoralkylsubstanzen (PFAS). PFAS ist eine Stoffgruppe, die aufgrund ihrer wasser-, fett- und schmutzabweisenden Eigenschaften in zahlreichen industriellen Anwendungen eingesetzt wird. In der Halbleiterfertigung werden PFAS vor allem als Prozesschemikalien und Membranen in Ätz-, Reinigungs- und Filtrationsprozessen eingesetzt. Die Kehrseite besteht darin, dass PFAS in der Umwelt extrem beständig sind und mit erheblichen Gesundheits- und Umweltrisiken verbunden werden. Vor diesem Hintergrund forciert die EU-Kommission eine strikte Regulierung. Für viele Unternehmen stellt sich damit die Frage, wie sich Verantwortung und technologische Umsetzbarkeit miteinander verbinden lassen.
PFAS als systemisches Umweltproblem
PFAS umfassen mehrere tausend Einzelsubstanzen, die in Produkten wie Feuerlöschschäumen, Beschichtungen, Textilien oder elektronischen Bauteilen verwendet werden. Die hohe chemische und thermische Stabilität, die sie funktional so wertvoll macht, führt gleichzeitig zu gravierenden Umweltfolgen:
Persistenz: PFAS bauen sich in der Umwelt kaum ab.
Bioakkumulation: Sie reichern sich in Organismen und Nahrungsketten an.
Toxizität: Zahlreiche PFAS stehen im Verdacht, krebserregend oder hormonwirksam zu sein und die Leber zu schädigen.
Laut Daten des Europäischen Umweltamts (EEA) überschritten zwischen 2018 und 2022 rund 51 -60 % der europäischen Flüsse die Grenzwerte für PFOS. PFOS sind eine der am häufigsten eingesetzten PFAS-Verbindungen. Eine Studie der Generaldirektion Umwelt (DG ENV) der EU-Kommission vom Januar 2026 stellt fest, dass die derzeitige Belastung durch PFAS die EU bis 2050 rund 440 Milliarden Euro kosten könnte.
Europäische Wasserstrategie im Wandel des regulatorischen Rahmens
Die EU verfolgt bei PFAS einen weitreichenden Regulierungsansatz nach dem Vorbild der REACH-Verordnung. Geplant ist die Aufnahme der Stoffgruppe in die Liste beschränkter Substanzen, inklusive breiter Definition, um auch künftige Varianten zu erfassen. Die Umsetzung soll stufenweise erfolgen, mit Übergangsfristen und Ausnahmen für essenzielle Anwendungen etwa in der Medizintechnik oder Halbleiterindustrie.
Ein zentrales Instrument ist die Trinkwasserrichtlinie (EU) 2020/2184, die verbindliche Grenzwerte festlegt: 0,1 µg/l für die Summe von 20 bestimmten PFAS und 0,5 µg/l für die Gesamtkonzentration an PFAS. Ziel ist es, die Qualität des Trinkwassers in der EU langfristig abzusichern.
Flankierend plant die EU eine groß angelegte Sanierungsinitiative. Im Rahmen öffentlich-privater Partnerschaften sollen innovative Technologien zur Reinigung PFAS-belasteter Gewässer entwickelt und angewendet werden. Hier setzt auch DAS Environmental Experts (DAS EE) an.
Lösungsansatz der DAS EE zur Schadstoffreduktion durch gezielte Abwasserbehandlung
Da vollwertige Ersatzstoffe für viele PFAS-Anwendungen bislang nicht flächendeckend verfügbar sind, liegt der Fokus aktuell auf der Reduktion von PFAS-Emissionen in die Umwelt. DAS EE unterstützt industrielle Akteure mit bewährten Verfahren zur Behandlung PFAS-haltiger Abwässer, insbesondere in der Halbleiterfertigung, wo solche Substanzen verfahrensbedingt anfallen, insbesondere bei Ätz- und Reinigungsschritten.
Zum Einsatz kommen unter anderem:
Membranfiltration
Adsorptionsverfahren (z. B. Aktivkohle)
Ionenaustausch- und Flockungstechniken
biologische Behandlungsstufen
Diese modularen Systeme lassen sich prozessspezifisch konfigurieren, kontinuierlich überwachen und hinsichtlich Energie- und Medienverbrauch optimieren. Ziel ist die Einhaltung geltender Grenzwerte und die Vorbereitung auf zukünftige regulatorische Anforderungen. Ergänzend bietet DAS EE integrierte Überwachungssysteme, die es ermöglichen, Ressourceneinsatz und Effizienz laufend zu analysieren und zu verbessern.
Die genannten Zahlen verdeutlichen, dass PFAS kein isoliertes Stoffproblem sind, sondern ganze Ökosysteme, Regulierungssysteme und Industriestrukturen betreffen. Umso wichtiger sind fundierte technische Lösungen, die den Ausstieg aus PFAS-belasteten Prozessen vorbereiten und gleichzeitig regulatorische Sicherheit bieten.
