AMTC Dresden setzt bei nachhaltiger Abgasbehandlung auf DAS EE
Das Advanced Mask Technology Center Dresden (AMTC) und DAS Environmental Experts (DAS EE) intensivieren ihre Zusammenarbeit auf dem Weg zu einer klimaneutralen Fertigung.
Starke Partnerschaft für klimaneutrale Photomaskenfertigung
Mit dem Einsatz von STYRAX Plasma-Wet-Systemen von DAS EE stellt AMTC die Abgasbehandlung in der Maskenproduktion zunehmend auf elektrische, zukunftsfähige Technologie um. Ziel ist es, die CO2-Emissionen in der Subfab deutlich zu reduzieren und die Dekarbonisierung entlang der gesamten Wertschöpfungskette voranzutreiben.
Der Umstieg auf die plasmabasierte Abgasbehandlung ist ein weiterer Baustein der AMTC-Strategie zur CO2-Neutralität. Durch die Elektrifizierung ersetzt AMTC herkömmliche, brennerbasierte Abgasreinigungssysteme und senkt damit den Einsatz fossiler Energieträger nachhaltig.
„Um unser Ziel zu erreichen, 2035 klimaneutral Photomasken zu fertigen, ist die Umstellung auf plasmabasierte Abgasreinigungsanlagen essenziell. Als führendes Unternehmen in diesem Bereich ist DAS EE für uns der beste Partner. Beweis hierfür ist unsere enge Zusammenarbeit im Silicon Saxony.“
Effektive Behandlung hochklimaschädlicher Prozessgase
Die eingesetzten STYRAX Plasma-Wet Systeme sind speziell für die Behandlung von PFC (Perfluorcarbone)-haltigen Abgasen - insbesondere Tetrafluormethan (CF₄) - aus dem Etch-Bereich ausgelegt. CF₄ besitzt ein extrem hohes Treibhauspotenzial sowie eine sehr lange atmosphärische Lebensdauer. Auch weitere fluorierte Prozessgase, die in der Maskenfertigung entstehen, tragen erheblich zum Klimawandel bei.
Die Plasma-Technologie von DAS EE ermöglicht eine besonders effiziente Zerstörung dieser stabilen Moleküle. Die erreichte Entsorgungseffizienz (Destruction and Removal Efficiency, DRE) entspricht der Leistung marktüblicher brennerbasierter Systeme – bei deutlich geringerem Primärenergiebedarf und ohne direkte CO₂-Emissionen.
„Wir freuen uns, das AMTC auf dem Weg zur klimaneutralen Maskenfertigung eng zu begleiten und zu beraten. Seit 35 Jahren entwickeln wir bei DAS Environmental Experts Umwelttechnologielösungen für die Halbleiterindustrie und setzen Maßstäbe in der Behandlung von Prozessgasen mit hohem Treibhauspotenzial. Unsere Partnerschaft unterstreicht unseren gemeinsamen Anspruch, Hightech-Produktion und Klimaschutz entlang der gesamten Wertschöpfungskette zu verbinden.“
Partnerschaftlicher Ansatz für nachhaltige Hightech-Produktion
Die Zusammenarbeit zwischen AMTC und DAS EE ist langfristig angelegt und basiert auf einem gemeinsamen Verständnis von technologischer Verantwortung. State-of-the-Art Abgasbehandlung trifft hier auf State-of-the-Art Maskenfertigung – mit dem klaren Ziel, Umweltleistung und Produktionsanforderungen in Einklang zu bringen.
Die Auslieferung der STYRAX Plasma-Wet-Anlagen ist für März 2026 vorgesehen. Im Anschluss startet der sogenannte Hook-up-Prozess. Die Inbetriebnahme ist für das zweite Quartal geplant.
