Point-of-Use Partikelfiltration und Wasserrecycling

Die Herstellung von Mikrochips erfordert viele verschiedene Prozessschritte, von denen einige schädliche Gase und Chemikalien verwenden, die am Einsatzort behandelt werden müssen. Hinter jedem Prozesswerkzeug befinden sich Abgasleitungen, die die Abgase vom Prozesstool zu einem Abgasbehandlungssystem führen. Diese Systeme befinden sich normalerweise zusammen mit den Vakuumpumpen und anderen Einrichtungen im Subfab. Zu den gängigen Technologien zur Abgasbehandlung gehören das Verbrennen und Waschen der Abgase oder – abhängig von Art und Menge der schädlichen Gase – ausschließlich das Waschen. Das Abwasser aus dieser Behandlung wird in der Regel zur zentralen Abwasseraufbereitungsanlage der Fabrik geleitet.

Zu diesem Zeitpunkt gibt es ein deutliches Signal aus dem Markt, dass die Nachfrage nach Technologien für Wasserrecycling bzw. -wiederverwendung zunimmt. DAS Environmental Experts hat auf diese Anforderung mit einer intelligenten Lösung reagiert, die von seinen Expertengruppen für Abgas- und Abwasserbehandlung entwickelt wurde. Das neue Point-of-Use-Wasserbehandlungssystem umfasst einen zusätzlichen Schritt, der feste Partikel – wie zum Beispiel Metalloxide – aus dem Abwasser der Abgasbehandlungssysteme herausfiltert und eine Rückführung in das Abgasbehandlungssystem ermöglicht. Bis zu 90 % des ursprünglichen Abwassers können recycelt werden. Die eingesetzte Membrantechnologie erfordert nur minimalen Service, ermöglicht eine schnelle Amortisation und unterstützt die ESG-Roadmaps der Halbleiterhersteller.