Katalytische NOx-Reduktion für die Halbleiterindustrie
Sekundäre Abgasreinigung für maximale Emissionsminderung von Stickoxiden nach Burn-Wet- und anderen NOx-erzeugenden Abatement-Systemen.
Sekundäre Abgasreinigung für höchste Umweltstandards
Moderne Brenner-Wäscher-Systeme beseitigen zuverlässig eine Vielzahl gefährlicher Prozessgase. Gleichzeitig können dabei Stickoxide (NOx) entstehen, die zunehmend strengeren Umweltauflagen unterliegen. Die katalytische Nachbehandlung bietet eine effiziente Lösung, um NOx- Emissionen gezielt zu reduzieren.
TSUGA – Selektive Katalytische Reduktion mit Partikelfiltration
TSUGA kombiniert eine Selektive Katalytische Reduktion (SCR) mit einer hocheffizienten Partikelfiltration. Das System wird als nachgeschaltete Bay-Lösung eingesetzt und reduziert Stickoxide sowie Feinstaub zuverlässig, ohne den Betrieb der vorgeschalteten Abgasreinigungssysteme zu beeinflussen.
ALCEA – Advanced Catalytic Oxidation
ALCEA ist ein hocheffizientes sekundäres Abgasreinigungssystem zur Reduzierung von NOx-Emissionen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf plasmaunterstützter Katalyse erzielt es NOx-Reduktionsgrade von bis zu 95 % bei minimalem Energieverbrauch. ALCEA wird direkt in den Abluftkanal integriert, benötigt praktisch keinen Platz und lässt sich problemlos in die bestehende Infrastruktur der Subfab nachrüsten.
