Katalytische NOx-Reduktion für die Halbleiterindustrie

Sekundäre Abgasreinigung für maximale Emissionsminderung von Stickoxiden nach Burn-Wet- und anderen NOx-erzeugenden Abatement-Systemen.

Sekundäre Abgasreinigung für höchste Umweltstandards

Moderne Brenner-Wäscher-Systeme beseitigen zuverlässig eine Vielzahl gefährlicher Prozessgase. Gleichzeitig können dabei Stickoxide (NOx) entstehen, die zunehmend strengeren Umweltauflagen unterliegen. Die katalytische Nachbehandlung bietet eine effiziente Lösung, um NOx- Emissionen gezielt zu reduzieren.

Ein großes, weißes Abgasreinigungsanlage TSUGA-Modul mit Bedienfeld und lila Streifen steht auf einer weißen Fläche.

TSUGA – die praktische Umsetzung

TSUGA kombiniert eine Selektive Katalytische Reduktion (SCR) mit einer hocheffizienten Partikelfiltration. Das System wird als nachgeschaltete Bay-Lösung eingesetzt und reduziert Stickoxide sowie Feinstaub zuverlässig, ohne den Betrieb der vorgeschalteten Abgasreinigungssysteme zu beeinflussen.

Erfahren Sie mehr über TSUGA

Das Bild zeigt auf der linken Seite eine weiße schrankförmige technische Anlage und auf der rechten Seite zwei Boxen mit mehreren Bedienfeldern, die über eine Hightech-Schnittstelle verfügen und mit beschrifteten Komponenten ausgestattet sind, die in einer Fertigungsumgebung zum Einsatz kommen.

ALCEA – Advanced Catalytic Oxidation

ALCEA ist ein hocheffizientes sekundäres Abgasreinigungssystem zur Reduzierung von NOx-Emissionen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf plasmaunterstützter Katalyse erzielt es NOx-Reduktionsgrade von bis zu 95 % bei minimalem Energieverbrauch. ALCEA wird direkt in den Abluftkanal integriert, benötigt praktisch keinen Platz und lässt sich problemlos in die bestehende Infrastruktur der Subfab nachrüsten.

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