ALCEA – Advanced Catalytic Oxidation

Hocheffiziente, integrierte DeNOx-Lösung für die sekundäre Abgasbehandlung in der Halbleiterindustrie.

Weiße schrankförmige Anlage und zwei Boxen mit Bedienfeldern für die Fertigungsumgebung

ALCEA

Basierend auf der bewährten plasmaunterstützten katalytischen DAS-Technologie ist ALCEA ein hochintegriertes und hocheffizientes Nachbehandlungssystem, das im Anschluss an beliebige NOx-erzeugende Abgasbehandlungsanlagen eingesetzt wird. Das Verfahren nutzt Plasmatechnologie zur Erzeugung reaktiver Sauerstoffspezies (ROS), die dann als Grundlage für die katalytischen Reaktionen dienen.

Abhängig von den vorangegangenen Behandlungsschritten erzielt ALCEA eine außergewöhnliche NOx-Reduktionsleistung von bis zu 95 % bei minimalem Energieverbrauch. Durch die Integration der Katalysatoreinheit in die Abluftkanäle nimmt ALCEA praktisch keinen Platz in Anspruch. Das technische System lässt sich problemlos in das Abluftkanalsystem der Subfabrik integrieren.

Lila Icon eines Tachometers, dessen Zeiger für hohe Effizienz nach rechts zeigt
95 %

NOx Reduktion

Symbol eines Abluftrohrs mit einem Blatt darin als Zeichen einer umweltfreundlichen Lösung
< 1 m²

Minimaler Platzbedarf

Lila Icon mit gekreuztem Schraubendreher und Schraubenschlüssel für einfache Nachrüstung
100 %

Retrofit bereit

Innovative NOx-Behandlung

ALCEA wurde speziell für den Einsatz als sekundäres Abgasreinigungssystem hinter NOx-erzeugenden Systemen wie Plasma-Wet- oder Burn-Wet-Anlagen entwickelt. Da die Katalysatoreinheit in das Abgaskanalsystem integriert ist, benötigt sie keinen zusätzlichen Platzbedarf in der Subfab. Der plasmaunterstützte Katalysator kombiniert nicht-thermisches Plasma (NTP) mit Katalysatortechnologie, um eine effiziente NOx-Reduktion bei geringem Energieverbrauch zu erzielen. Seine hohe Behandlungsleistung und seine kompakte Bauweise ermöglichen eine einfache Integration in bestehende Abgassysteme, ohne den Betrieb oder die Leistung vorgeschalteter Abgasreinigungsanlagen zu beeinträchtigen.

Optimieren Sie Ihre Abgasbehandlung mit ALCEA

Hochintegriertes und hocheffizientes System zur sekundären NOx-Behandlung.

ALCEA – Technische Daten und Konfigurationsoptionen

ALCEA (Advanced Catalytic Oxidation)

Bei der Advanced Catalytic Oxidation werden hochreaktive Sauerstoffspezies (ROS) genutzt, die durch das nichtthermische Plasmasystem erzeugt werden, um auf der Katalysatoroberfläche katalytische Reaktionen wie die Langmuir-Hinshelwood-Reaktion (L-H) und die Eley-Rideal-Reaktion (E-R) auszulösen.

Durch diesen Prozess werden NOx in hochoxidierte Stickstoffspezies (NxOy) mit ausgezeichneter Wasserlöslichkeit umgewandelt, was deren effiziente Entfernung in nachgeschalteten zentralen Nassabscheidungssystemen ermöglicht und somit eine effektive Denitrifikation gewährleistet. Neben einer herausragenden Denitrifikationsleistung zeichnet sich die Technologie auch durch außergewöhnliche Robustheit und Toleranz unter komplexen Prozess- und atmosphärischen Bedingungen aus.

Beratung und Verfahrensauswahl

Haben Sie Fragen zu ALCEA oder möchten Sie mehr über maßgeschneiderte Lösungen für Ihren Use Case erfahren? Lassen Sie uns ins Gespräch kommen!