LARCH – Trockenbrenner-System (Pyrolysis)
Point-of-Use Reinigung von Abgasen aus MOCVD-Prozessen in der LED- und GaN-Industrie
LARCH - Trockenbrenner-Systeme
LARCH-Trockenbrenner wurden von DAS Environmental Experts speziell für die Behandlung von Abgasen aus MOCVD-Prozessen für LED, μLED, GaN sowie von Abgasen aus EUV-Prozessen am Point-of-Use entwickelt.
Die Verfahrenskombination von Oxidation und Pyrolyse erweitert das DAS-Technologieportfolio nachhaltig. Geringe Investitions- und Betriebskosten, ein einfacher, robuster Aufbau und die hohe Umweltverträglichkeit zeichnen LARCH aus. Das System erzeugt weder CO2-Emissionen noch Abwasser. NOx-Emissionen sind stark reduziert. Bestehende Installationen überzeugen mit einem Wartungszyklus von mehr als sechs Monaten. Der Zugang für Bedienung und Wartung des LARCH-Abgasbrenners erfolgt von zwei Seiten. Eine Prozesskopplung ist zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. Die Prozessgasabwärme kann durch Wärmetauscher in unterschiedlichen Ausführungen für andere Produktionsbereiche nutzbar gemacht werden.
LARCH – Trockenbrennersysteme für effiziente Behandlung von Industrieprozessen
LARCH
LARCH ist unser Abgasreinigungssystem für den Einsatz am Point-of-Use. Es ist in der Lage, große Mengen an Wasserstoff und Ammoniak sowie geringe Mengen an metallorganischen Verbindungen und Silan zu behandeln, die typischerweise in gängigen MOCVD- und EUV-Prozessen vorkommen. Zu den Merkmalen von LARCH zählen geringe Investitions- und Betriebskosten, eine einfache und robuste Konstruktion sowie eine geringe Umweltbelastung: keine CO2-Emissionen, minimale NOx-Emissionen und kein Abwasser. LARCH-Systeme können auch hohe N2-Durchsätze problemlos bewältigen. Das Wartungsintervall beträgt mehr als sechs Monate.
LARCH PLUS
LARCH PLUS kann mehr schädliche Gase mit geringeren Emissionen und einer geringfügig größeren Stellfläche entsorgen. Zu den Merkmalen von LARCH PLUS zählen niedrige Investitions- und Betriebskosten, eine einfache und robuste Konstruktion sowie eine geringe Umweltbelastung: keine CO2-Emissionen, minimale NOx-Emissionen und kein Abwasser. LARCH PLUS-Systeme können auch hohe N2-Durchsätze problemlos bewältigen. Das Wartungsintervall beträgt mehr als sechs Monate.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit LARCH
Optimiert für die Point-of-Use Reinigung von Abgasen aus MOCVD-Prozessen in der LED- und GaN-Industrie.
LARCH – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
LARCH (Pyrolysis)
Das Abgas, das hauptsächlich aus Wasserstoff und Ammoniak besteht, wird zunächst erhitzt, was zur Pyrolyse des Ammoniaks führt. Der Wasserstoff wird dann durch elektrische Heizelemente gezündet und mit dem Sauerstoff der in den Reaktor angesaugten Umgebungsluft verbrannt. Die dabei freigesetzte Reaktionsenthalpie wird nun zum Erhitzen des nachfolgenden Abgases genutzt.
Die verbleibende Wärmeenergie wird entweder in einem Wärmetauscher oder durch Luftkühlung aus dem Reingas abgeführt, bevor es ausgestoßen wird. Die Reaktionsprodukte sind Stickstoff und gasförmiges Wasser. Das Abgas kann nun ohne weitere Behandlung in die Umwelt abgegeben werden, da es die Standards des deutschen Luftreinhaltungsgesetzes (TA Luft) erfüllt.
