AQUABATE - zuverlässige Entfernung wasserlöslicher Schadstoffe
Auf der Grundlage der Nasswäscher-Technologie hat DAS Environmental Experts die AQUABATE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen am Point-of-Use entfernt.
Kompakte und wartungsfreundliche AQUABATE Nasswäscher
AQUABATE Nasswäscher sind sehr kompakt und wartungsfreundlich. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Sie benötigen nur kleine Stellflächen und sind kostengünstig. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.
AQUABATE Produktfamilie
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI wurde speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Schwerpunkt ist dabei die Einhaltung hoher Sicherheitsstandards, die sich aus der Verwendung des Trägergases Wasserstoff bei diesem Prozess ergeben. Nach dem Waschverfahren wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze verdünnt oder in einer nachgeschalteten Abgasreinigungsanlage verbrannt. Die Prozessabgase werden über maximal drei separate Schadgaseinlässe zugeführt. Die speziell konstruierten Einlässe reduzieren das Verblocken. Sowohl die Einlässe als auch die Zuleitungen sind optional beheizbar.
AQUABATE FLEX
AQUABATE FLEX ist ein modularer Gaswäscher zur effizienten Abscheidung wasserlöslicher Komponenten aus Schadgasen unterschiedlichster Applikationen. Der Gaseinlass ist so konstruiert, dass Verblockungen vermieden werden. AQUABATE FLEX ist als ein- oder zweistufiger Wäscher lieferbar und kann dank des kompakten, modularen Aufbaus optimal an Kundenanforderungen angepasst werden. In Abhängigkeit der Konfiguration des Gaswäschers können Schadgaseingänge bis hin zum Eintritt in die Waschstrecke bzw. den Waschflüssigkeitsbehälter optional beheizt werden, um Probleme durch kondensierendes Gas bei der Abgaszuführung zu vermeiden. Zur Erhöhung der Wascheffizienz kann die Waschflüssigkeit optional mit Chemikalien angereichert werden.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit AQUABATE
Behandelt zuverlässig Gase wie Chlorwasserstoff, Chlorsilane, Ammoniak sowie Abbauprodukte aus Ätzprozessen.
AQUABATE – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
AQUABATE (wet)
Die Schadgase einer vorgeschalteten Prozessanlage werden über bis zu vier Einlässe in den Wäscher geleitet. Die Gase gelangen in einen speziell konstruierten Einlass, der Partikelablagerungen vermeidet. Anschließend wird der Schadgasstrom im Gleich- oder Gegenstromprinzip mittels eines Füllkörper- oder Sprühwäschers gereinigt. Das Entfernen wasserlöslicher Komponenten aus dem Schadgasstrom erfolgt mittels physikalischer Absorption in Wasser. Zur Verbesserung der Effizienz können der Waschflüssigkeit Chemikalien zugesetzt werden. Je nach Konfiguration durchströmt das Gas ein oder zwei Waschstufen. Nach dem letzten Absorptionsschritt werden mitgerissene Waschflüssigkeitstropfen mittels eines Tropfenabscheiders aus dem Reingasstrom entfernt. Die Steuerung der Anlage erfolgt vollautomatisch über eine speicherprogrammierbare Steuerung und erfüllt die sicherheitstechnischen Ansprüche der SEMI S2.
