AMTC und DAS Environmental Experts erreichen Meilenstein für klimafreundlichere Photomaskenfertigung
Das Advanced Mask Technology Center Dresden (AMTC) und DAS Environmental Experts haben einen wichtigen Meilenstein ihrer gemeinsamen Nachhaltigkeitsinitiative erreicht. Nach erfolgreicher Installation und Inbetriebnahme aller STYRAX Plasma-Wet-Anlagen verfügt das AMTC nun über eine modernisierte Abgasbehandlung für wesentliche Bereiche der Photomaskenfertigung. Damit bringen die Partner die Dekarbonisierung eines zentralen Abschnitts der Halbleiter-Wertschöpfungskette in die industrielle Praxis.
Dekarbonisierung beginnt dort, wo Emissionen entstehen
Die Herstellung moderner Halbleiter ist ohne fluorierte Prozessgase nicht möglich. Gleichzeitig zählen insbesondere Perfluorcarbone wie Tetrafluormethan (CF₄) aufgrund ihres sehr hohen Treibhauspotenzials zu den größten Herausforderungen für die Klimabilanz der Branche.
Auch bei der Herstellung von Photomasken, einem der zentralen Produktionsmittel der Halbleiterfertigung, entstehen Prozessabgase, die aufbereitet werden müssen. Mit der erfolgreichen Inbetriebnahme der Plasma-Wet-Anlagen von DAS Environmental Experts stellt das AMTC die Abgasbehandlung in der Maskenproduktion konsequent auf eine elektrische und zukunftsfähige Technologie um. Damit übernimmt das Unternehmen eine Vorreiterrolle in der nachhaltigen Photomaskenfertigung und setzt neue Maßstäbe bei der Reduzierung prozessbedingter Emissionen.
Ein wichtiger Hebel liegt dabei in der technischen Infrastruktur der Fertigung. In der Subfab behandeln die Anlagen von DAS Environmental Experts hochklimawirksame Prozessgase direkt an ihrer Entstehungsquelle und schaffen so eine wesentliche Voraussetzung für eine klimafreundlichere Produktion. Mit steigenden Produktionskapazitäten und wachsenden Anforderungen an die Klimabilanz von Halbleiterstandorten gewinnt die technische Infrastruktur der Fabriken weiter an Bedeutung. Eine leistungsfähige Abgasbehandlung entwickelt sich damit vom notwendigen Bestandteil des Produktionsprozesses zunehmend zu einem strategischen Hebel für die Dekarbonisierung.
Durch die Umstellung auf die elektrisch mit 100% erneuerbarem Strom betriebenen STYRAX Plasma-Wet-Anlagen reduziert AMTC den Einsatz von Erdgas bzw. die damit verbundenen CO₂ -Emissionen um weitere 21% bezogen auf Gesamtemissionen 2026. Zusätzlich wird der aufwendig aus der Umgebungsluft gewonnene Sauerstoff eingespart, der für die Verbrennung notwendig wäre, was dessen Anlieferung unnötig macht und damit zusätzliches CO2 aus Straßentransporten einspart.
„Mit der erfolgreichen Inbetriebnahme haben wir einen weiteren wichtigen Schritt auf unserem Weg zur klimafreundlichen Photomaskenfertigung erreicht. Ökologische Nachhaltigkeit entsteht nicht allein im Reinraum, sondern ebenso in der technischen Infrastruktur einer Fabrik. Gemeinsam mit DAS Environmental Experts setzen wir genau dort an, wo ein wesentlicher Teil der Emissionen entsteht."
Umwelttechnologie als Wegbereiter klimaneutraler Hightech-Produktion
Für DAS Environmental Experts bestätigt das Projekt, welche Rolle die Abgasbehandlung auf dem Weg zu einer klimaneutralen Halbleiterfertigung spielt. Das Unternehmen bringt jahrzehntelange Erfahrung in der Behandlung komplexer Prozessabgase und in der Entwicklung von Technologien für die Halbleiterindustrie ein. DAS Environmental Experts begleitet Halbleiterhersteller damit nicht nur bei der sicheren Abgasbehandlung, sondern auch bei der nachhaltigen Weiterentwicklung ihrer Produktionsinfrastruktur.
Dabei geht es längst nicht mehr nur um die sichere Behandlung von Prozessabgasen. Mit der gezielten Reduktion klimarelevanter Emissionen wird die Abgasbehandlung zu einem wichtigen Baustein für eine klimaverträglichere Hightech-Produktion.
„Dieses erfolgreiche Projekt zeigt, dass Umwelttechnologie heute Teil der strategischen Infrastruktur einer Halbleiterfabrik und ihrer Zulieferindustrie ist. Wenn die Branche Produktionskapazitäten ausbaut und gleichzeitig ihre Klimaziele erreichen will, müssen beide Entwicklungen zusammengedacht werden. Genau an dieser Schnittstelle bringen wir unsere Technologie- und Prozesserfahrung ein.“
Signalwirkung für Europas Halbleiterindustrie und darüber hinaus
Photomasken sind ein unverzichtbares Hilfsmittel für die Herstellung moderner Chips und damit Teil einer strategisch wichtigen Wertschöpfungskette. Während Europa seine Halbleiterkapazitäten stärkt, gewinnt neben Versorgungssicherheit und technologischer Leistungsfähigkeit auch die Umweltbilanz der Produktion an Bedeutung. Für Europa gehört eine leistungsfähige und zugleich klimaverträgliche Produktion damit zu den Voraussetzungen, um die eigene Halbleiter-Wertschöpfung langfristig zu stärken.
Mit der modernisierten Abgasbehandlung setzt AMTC genau hier an: Gemeinsam mit DAS Environmental Experts wird die Dekarbonisierung bereits in der Subfab praktisch umgesetzt. Die gewonnenen Erfahrungen schaffen eine Grundlage für weitere Anwendungen und verleihen dem Projekt Referenzcharakter für die Transformation der Halbleiterindustrie.
