Nach­hal­ti­ge Lösun­gen für die Abwas­ser­be­hand­lung in der Halbleiterindustrie

DAS Envi­ron­men­tal Experts bie­tet maß­ge­schnei­der­te, nach­hal­ti­ge Abwas­ser­lö­sun­gen und Wie­der­auf­be­rei­tungs­kon­zep­te für die Halb­lei­ter­indus­trie. Mit hohen Qua­li­täts­stan­dards und indi­vi­du­el­lem Pro­jekt­ma­nage­ment für Abwas­ser­be­hand­lungs­an­la­gen sind wir Ihr zuver­läs­si­ger Part­ner für effi­zi­en­te Was­ser­nut­zung in der Chipproduktion.

Was­ser­ma­nage­ment für Halb­lei­ter­fa­bri­ken ist ange­sichts der glo­ba­len Was­ser­knapp­heit von ent­schei­den­der Bedeu­tung. Nur knapp drei Pro­zent der welt­wei­ten Was­ser­re­ser­ven sind Süß­was­ser, wovon gro­ße Tei­le durch Ver­schmut­zung und Über­nut­zung beein­träch­tigt sind. Die Halb­lei­ter­indus­trie als bedeu­ten­der Was­ser­ver­brau­cher steht vor der Her­aus­for­de­rung, ihren Was­ser­be­darf zu opti­mie­ren. Inno­va­ti­ve Abwas­ser­be­hand­lungs­tech­no­lo­gien und umwelt­freund­li­che Was­ser­auf­be­rei­tungs­an­la­gen für Halb­lei­ter­fa­bri­ken sind ent­schei­dend, um die Belas­tung der Süß­was­ser­res­sour­cen zu verringern.

DAS Envi­ron­men­tal Experts ent­wi­ckelt nach­hal­ti­ge Was­ser­auf­be­rei­tungs­sys­te­me, die den stei­gen­den Bedarf an sau­be­rem Was­ser in der Indus­trie adres­sie­ren und gleich­zei­tig zur Scho­nung der welt­wei­ten Was­ser­re­ser­ven bei­tra­gen. Durch den Ein­satz inno­va­ti­ver Was­ser­re­cy­cling-Tech­no­lo­gien in der Halb­lei­ter­pro­duk­ti­on kön­nen Unter­neh­men ihren Frisch­was­ser­ver­brauch deut­lich redu­zie­ren. Unse­re Lösun­gen für indus­tri­el­le Abwas­ser­be­hand­lung hel­fen dabei, den Was­ser­kreis­lauf in Halb­lei­ter­fa­bri­ken zu schlie­ßen und einen nach­hal­ti­gen Umgang mit die­sem lebens­wich­ti­gen Roh­stoff zu gewährleisten.

Was­ser in der Halbleiterindustrie

Die Her­stel­lung von Mikro­pro­zes­so­ren auf Sili­zi­um­wa­fern ist ein res­sour­cen­in­ten­si­ver Pro­zess in der Halb­lei­ter­pro­duk­ti­on. Die Mikro­chip-Her­stel­lung ver­braucht gro­ße Men­gen an Ener­gie, Was­ser, Che­mi­ka­li­en und Gasen. Ins­be­son­de­re der hohe Was­ser­ver­brauch stellt die Nach­hal­tig­keit in der Halb­lei­ter­indus­trie vor gro­ße Her­aus­for­de­run­gen. Im Lau­fe der Chip­fer­ti­gung durch­lau­fen die Sili­zi­um­schei­ben (Wafer) über 1000 ein­zel­ne Pro­zess­schrit­te im Rein­raum, die regel­mä­ßi­ge Rei­ni­gungs­pro­zes­se erfor­dern. Hier­für wird Reinst­was­ser (Ultra­pu­re Water, UPW) ein­ge­setzt, das auch bei Ätz­pro­zes­sen zum Ein­satz kommt. Die Ver­wen­dung von UPW ist ein kri­ti­scher Fak­tor für die Res­sour­cen­ef­fi­zi­enz in der Halbleiterproduktion.

Die Umwelt­aus­wir­kun­gen der Mikro­elek­tro­nik zei­gen sich beson­ders in der Ent­ste­hung gefähr­li­cher Abfäl­le wie Schwer­me­tal­le, Säu­ren und Lösungs­mit­tel. Die­se kön­nen bei unsach­ge­mä­ßer Ent­sor­gung erheb­li­che Umwelt­schä­den ver­ur­sa­chen. Wäh­rend der ver­schie­de­nen Fer­ti­gungs­schrit­te wird das Was­ser durch Che­mi­ka­li­en wie Sal­pe­ter­säu­re, Schwe­fel­säu­re, Flu­or­was­ser­stoff, Ammo­ni­ak, Was­ser­stoff­per­oxid und Iso­pro­pa­nol sowie durch Par­ti­kel aus den unter­schied­li­chen Pha­sen der Chip­her­stel­lung ver­un­rei­nigt. Daher ist eine effek­ti­ve Abwas­ser­auf­be­rei­tung für Chip­fa­bri­ken von ent­schei­den­der Bedeu­tung. Die Opti­mie­rung die­ser Pro­zes­se spielt eine zen­tra­le Rol­le für die Ver­bes­se­rung der Nach­hal­tig­keit in der Mikro­chip-Pro­duk­ti­on und die Redu­zie­rung der öko­lo­gi­schen Fuß­ab­drucks der Halbleiterindustrie.

Lang­jäh­ri­ge Erfah­rung in der indus­tri­el­len Abwas­ser- und Abgasreinigung

Mit über 30 Jah­ren Erfah­rung ist DAS Envi­ron­men­tal Experts der Inbe­griff für deut­sche Inge­nieurs­tech­nik und Qua­li­täts­fer­ti­gung. Unse­re erprob­ten und ska­lier­ba­ren Lösun­gen bie­ten eine zuver­läs­si­ge Abwas­ser­be­hand­lung für die spe­zi­fi­schen Anfor­de­run­gen der Hoch­tech­no­lo­gie­fer­ti­gung sowie zahl­rei­cher wei­te­rer Bran­chen wie der Lebens­mit­tel- und Geträn­ke­indus­trie, che­mi­schen Indus­trie, Phar­ma- und Kos­me­tik­in­dus­trie. Unser Pro­jekt­an­satz umfasst die indi­vi­du­el­len Anfor­de­run­gen unse­rer Kun­den von der Abwas­ser­men­ge und ‑zusam­men­set­zung über spe­zi­fi­sche Anfor­de­run­gen zu Ener­gie- und Che­mi­ka­li­en­ein­satz sowie Foot­print und ande­re Design­an­for­de­run­gen hin zur Ablauf­qua­li­tät für Recy­cling, indi­rek­te wie auch direk­te Ein­lei­tung. Mit der Vor­fer­ti­gung der Anla­gen­kom­po­nen­ten in Dres­den gewähr­leis­ten wir höchs­te Qua­li­tät und Effizienz.

Komplettlösungen aus einer Hand Grafik

Kom­plett­lö­sun­gen aus einer Hand

Unser umfang­rei­ches Leis­tungs­an­ge­bot deckt sämt­li­che Berei­che ab: von der Bera­tung (inklu­si­ve Labor und Pilot­ver­su­chen) über die Pla­nung, den Anla­gen­bau, die Inbe­trieb­nah­me bis hin zur Opti­mie­rung sowie der War­tung von Abwas­ser­be­hand­lungs­an­la­gen. Unse­re viel­sei­ti­ge Palet­te an bio­lo­gi­schen, mecha­ni­schen und che­misch-phy­si­ka­li­schen Ver­fah­ren ermög­licht es uns, die spe­zi­fi­schen Schad­stof­fe in den Prozess‑, Brauch- und Schmutz­wäs­sern unse­rer Kun­den auf die zuläs­si­gen Grenz­wer­te für Ablei­tung bzw. Recy­cling zu reduzieren.

Dazu gehö­ren unter anderem:

  • Ent­fer­nung von orga­ni­schen Verunreinigungen
  • Ent­fer­nung von Schwer­me­tal­len oder ande­ren toxi­schen Verbindungen
  • Behand­lung von che­misch-mecha­ni­schen Polier-/Pla­na­ri­sie­rungs­ab­was­ser (CMP)
  • Behand­lung von Grinding-Reststoffen
  • Behand­lung von fluo­rid- und arsen­hal­ti­gem Abwasser
  • Behand­lung von Iso­pro­pa­nol (IPA) oder ande­ren flüch­ti­gen orga­ni­schen Ver­bin­dun­gen (VOCs)
  • Wie­der­ver­wen­dung von behan­del­tem Abwas­ser (Was­ser­re­cy­cling)
  • Rück­ge­win­nung und Recy­cling von Wert­me­tal­len aus Abwässern

Ein­satz von bio­lo­gi­scher Abwas­ser­hand­lung in der Halb­lei­ter­indus­trie am Bei­spiel Moving Bed Bio­film Reak­tor (MBBR)

Ein Moving Bed Bio­film Reak­tor (MBBR) ist ein bio­lo­gi­scher Reak­tor, der auf­grund sei­ner Fle­xi­bi­li­tät und Effi­zi­enz in der Lage ist, eine brei­te Palet­te von orga­ni­schen Ver­un­rei­ni­gun­gen aus Indus­trie­ab­wäs­sern zu ent­fer­nen. Er bie­tet eine gute Leis­tung bei der Ent­fer­nung von Stick­stoff- und Phos­phor­ver­bin­dun­gen sowie bei der Besei­ti­gung von orga­ni­schen Ver­bin­dun­gen, wel­che als CSB/BSB/TOC dar­ge­stellt wer­den. Der Pro­zess ist robust, bedie­nungs­freund­lich, ein­fach ska­lier­bar und lässt sich damit sehr gut an spe­zi­fi­sche Kun­den­an­for­de­run­gen anpas­sen. Die Nut­zung von Trä­ger­ma­te­ri­al und das damit ver­bun­de­ne sehr hohe Schlamm­al­ter ist opti­mal für die Anpas­sung an ver­schie­dens­te, auch schwer abbau­ba­re, orga­ni­sche Inhalts­stof­fe. Da es sich nicht um Belebt­schlamm han­delt wird zusätz­lich weni­ger Über­schuss­schlamm gebil­det, was die Betriebs­kos­ten reduziert.

 

MBBR-Abwas­ser­be­hand­lungs­an­la­ge

für die mehr­stu­fi­ge bio­lo­gi­sche Behand­lung von Abwäs­sern aus Ätzprozessen

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Trä­ger­ma­te­ri­al

Im MBBR befin­det sich lose geschüt­te­tes Kunst­stoff-Trä­ger­ma­te­ri­al, wel­ches als Ober­flä­che für die Besied­lung von spe­zia­li­sier­ten Mikro­or­ga­nis­men dient. Die­se frei­schwe­ben­den Trä­ger­ma­te­ria­li­en haben eine gro­ße Ober­flä­che, um eine hohe Bio­mas­se­kon­zen­tra­ti­on zu ermög­li­chen. Die Mikro­or­ga­nis­men sind für den Abbau sowohl von orga­ni­schen Abwas­ser­in­halts­stof­fen als auch von Stick­stoff­ver­bin­dun­gen ver­ant­wort­lich und sor­gen durch die sehr lan­ge Auf­ent­halts­zeit im Abwas­ser und die dar­aus fol­gen­de selek­ti­ve Spe­zia­li­sie­rung sowie den geschütz­ten Raum in den Auf­wuchs­kör­pern dafür, dass der MBBR-Pro­zess wesent­lich sta­bi­ler und adap­ti­ver als ande­re bio­lo­gi­sche Behand­lungs­tech­no­lo­gien ist.

 

Belüf­tung und Durchmischung

Luft wird in den Reak­tor ein­ge­bla­sen, um Sau­er­stoff bereit­zu­stel­len und die Mikro­or­ga­nis­men mit Nähr­stof­fen zu ver­sor­gen. Durch die gerin­ge­ren Fest­stoff­ge­hal­te im Ver­gleich zu Belebt­schlamm­ver­fah­ren ist der Sau­er­stoff­ein­trag sehr effi­zi­ent. Gleich­zei­tig sorgt die Belüf­tung für eine Durch­mi­schung des Abwas­sers und der Trä­ger­ma­te­ria­li­en im Reaktor.

 

Bio­film­wachs­tum

Mikro­or­ga­nis­men im Abwas­ser, wie z. B. Bak­te­ri­en, hef­ten sich an die Ober­flä­che der Trä­ger­ma­te­ria­li­en und bil­den einen Bio­film. Die­ser Bio­film ent­hält eine Viel­zahl von Orga­nis­men, die orga­ni­sche Ver­bin­dun­gen im Abwas­ser abbau­en können.

 

Abbau von Schadstoffen

Die Mikro­or­ga­nis­men im Bio­film bau­en orga­ni­sche Ver­bin­dun­gen und ande­re Schad­stof­fe im Abwas­ser ab, indem sie die­se als Nah­rungs­quel­le nut­zen. Die­ser Abbau erfolgt durch bio­che­mi­sche Pro­zes­se wie aero­be und anae­ro­be Atmung sowie Denitrifikation.

 

Klä­rung

Nach­dem die Mikro­or­ga­nis­men die Schad­stof­fe abge­baut haben, fließt das gerei­nig­te Was­ser aus dem Reak­tor ab. Der größ­te Teil der Bio­mas­se ver­bleibt im Reak­tor und kann für den bio­lo­gi­schen Abbau wei­te­rer Schad­stof­fe ver­wen­det wer­den. Da die Bio­mas­se nicht als Belebt­schlamm vor­liegt, fällt am Ende eben­falls weni­ger Über­schuss­schlamm an.

 

DAS EE ver­fügt über lang­jäh­ri­ge Erfah­rung mit MBBR in unter­schied­li­chen Industrien.

Für die Nut­zung die­ser Tech­no­lo­gie in der Halb­lei­ter­indus­trie emp­feh­len wir bei­spiel­haft fol­gen­de tech­no­lo­gi­sche Verfahrenskombination:

  • Ein Misch- und Aus­gleichs­be­häl­ter zum Puf­fern & Kon­di­tio­nie­ren (pH-Ein­stel­lung, Zuga­be not­wen­di­ger Nähr­stof­fe, H2O2-Katalyse)
  • Zwei aero­be MBBR zum CSB-Abbau und zur Nitrifikation
  • Ein ano­xi­scher (Gelöst­sauer­stoff-frei­er) MBBR zum Nitratabbau
  • Flo­ta­tio­nen zur Feststoffabscheidung
  • Schlamm­pres­sen zur Schlammentwässerung

Mem­bra­ne Bio Reac­tor (MBR)

Eine wei­te­re Abwas­ser­be­hand­lungs­me­tho­de, die in der Halb­lei­ter­indus­trie ein­ge­setzt wer­den kann, ist der Mem­bra­ne Bio Reac­tor (MBR). Hier­bei wird das Belebt­schlamm­ver­fah­ren mit einer Mem­bran­fil­tra­ti­on kom­bi­niert, um Par­ti­kel und Belebt­schlamm vor dem Ablei­ten des bio­lo­gisch gerei­nig­ten Abwas­sers zurückzuhalten.

Das Abwas­ser wird zunächst in einen bio­lo­gi­schen Reak­tor mit Mikro­or­ga­nis­men gelei­tet. Die­se Orga­nis­men spie­len eine ent­schei­den­de Rol­le beim Abbau orga­ni­scher Ver­un­rei­ni­gun­gen im Abwas­ser und lie­gen im Gegen­satz zum MBBR nicht als Bio­film, son­dern als Belebt­schlamm und damit in Form von im Abwas­ser schwe­ben­den Flo­cken vor. Auch hier wer­den anae­ro­be, ano­xi­sche und aero­be Becken, bzw. Zonen ver­wen­det, um die Eigen­schaf­ten unter­schied­li­cher Mikro­or­ga­nis­men in der Bio­zö­no­se zu nut­zen. Im Gegen­satz zum MBBR durch­lau­fen die­se jedoch alle Stu­fen und ver­blei­ben nicht in einer Zone.

Um die Akti­vi­tät aero­ber Orga­nis­men auf­recht­zu­er­hal­ten, wird Luft in den Reak­tor gebla­sen, was ihr aero­bes Wachs­tum ermög­licht und den Abbau der Ver­un­rei­ni­gun­gen beschleu­nigt. Anae­ro­be oder ano­xi­sche Zonen wer­den ohne Luft­ein­trag durch­mischt. Anschlie­ßend durch­läuft das behan­del­te Abwas­ser eine Mem­bran­fil­tra­ti­on im MBR-Sys­tem. Spe­zi­el­le Mem­bra­nen wer­den ver­wen­det, um Par­ti­kel und Belebt­schlamm effek­tiv zurückzuhalten.

Peri­odi­sche Rück­spü­lun­gen der Mem­bra­nen sind erfor­der­lich, um Abla­ge­run­gen und Ver­stop­fun­gen zu ent­fer­nen, was übli­cher­wei­se durch Umkeh­rung des Was­ser­flus­ses oder che­mi­sche Rei­ni­gungs­me­tho­den erfolgt. Je nach Ver­un­rei­ni­gung wer­den dabei Lau­gen, Säu­ren oder auch enzy­ma­ti­sche Rei­ni­ger und chlor­hal­ti­ge Hypo­chlo­rit ver­wen­det. Es erfolgt eine Rezir­ku­la­ti­on des Belebt­schlam­mes in die vor­ge­la­ger­ten Anla­gen­tei­le, um eine kri­ti­sche Auf­kon­zen­tra­ti­on in der Mem­bran­kam­mer zu ver­mei­den. Aus die­ser Rezir­ku­la­ti­on wird auch der im Pro­zess ent­ste­hen­de Über­schuss­schlamm ent­nom­men. Schließ­lich kann das gerei­nig­te Was­ser je nach Anwen­dung wie­der­ver­wen­det oder in die zen­tra­le Abwas­ser­ent­sor­gung ein­ge­lei­tet werden.

Alter­na­tiv kann es wei­te­ren Rei­ni­gungs­pro­zes­sen unter­zo­gen wer­den, um höhe­re Rein­heits­gra­de zu errei­chen. Vor­tei­le die­ses Ver­fah­rens sind z. B. die Fest­stoff­frei­heit des Ablau­fes, poten­ti­ell gerin­ge­re Reak­tor­vo­lu­mi­na durch höhe­re Belebt­schlamm­kon­zen­tra­tio­nen, ein­fa­che Erhö­hung der Fil­tra­ti­ons­ka­pa­zi­tät in Stu­fen und im Ver­gleich zur Schwer­kraft­sedi­men­ta­ti­on gerin­ge­rer Foot­print der Feststoffabscheidung.

MBBR System DAS

Che­misch-phy­si­ka­li­sche Abwas­ser­be­hand­lung in der Halbleiterindustrie

Die che­misch-phy­si­ka­li­sche Abwas­ser­be­hand­lung ist eine Kom­bi­na­ti­on unter­schied­li­cher Ver­fah­ren, um Schwer­me­tal­le, orga­ni­sche Ver­bin­dun­gen, Säu­ren und Basen sowie Par­ti­kel aus dem Pro­zess­was­ser zu ent­fer­nen. Je nach Kun­den­an­for­de­run­gen ent­schei­det unser Exper­ten­team, wel­che der Ver­fah­ren mit­ein­an­der kom­bi­niert wer­den, um opti­ma­le Ergeb­nis­se zu erzielen.

Solu­ti­on for Che­mi­cal-Phy­si­cal Was­te­wa­ter Treatment

Chemical-Physical-Wastewater-Treatment-Plant-by-DAS-EE

 

DAS EE bie­tet die fol­gen­den Ver­fah­ren an:

Fil­tra­ti­on

Bei der Fil­tra­ti­on han­delt es sich um ein mecha­ni­sches Ver­fah­ren zur Abtren­nung von Fest­stof­fen aus Flüs­sig­kei­ten. Für den Ein­satz in der Halb­lei­ter­indus­trie bie­tet sich ins­be­son­de­re die Mem­bran­fil­tra­ti­on in Form von Mikro­fil­tra­ti­on, Ultra­fil­tra­ti­on, Nano­fil­tra­ti­on und Umkehr­os­mo­se an, die Par­ti­kel und Mole­kü­le einer defi­nier­ten Grö­ße zurück­hal­ten kann. Mit die­sem Ver­fah­ren kön­nen auch kol­lo­ida­le Stof­fe sowie Bak­te­ri­en ent­fernt und das Was­ser ent­salzt werden.

Flo­ta­ti­on

Bei der Flo­ta­ti­on wer­den disper­gier­te oder sus­pen­dier­te Stof­fe mit Hil­fe von Koagu­lan­ten wie Alu­mi­ni­um­sul­fat oder Eisen­chlo­rid sowie Flo­ckungs­mit­teln aus Flüs­sig­kei­ten ent­fernt. Das Ver­fah­ren trägt dabei effek­tiv zur Ent­fer­nung von par­ti­kel­för­mi­gen Ver­un­rei­ni­gun­gen aus ande­ren Behand­lungs­schrit­ten wie der Belebt­schlamm­ab­schei­dung aus dem MBBR bei, bevor das Was­ser wei­te­ren Rei­ni­gungs­ver­fah­ren unter­zo­gen wird.

Sedi­men­ta­ti­on

Die Sedi­men­ta­ti­on dient der Abtren­nung von Fest­stoff­par­ti­keln durch Schwer­kraft in fla­chen nahe­zu strö­mungs­frei­en Becken. Die Behäl­ter wer­den in der Regel nach Auf­ent­halts­zeit aus­ge­legt, das heißt, das Was­ser muss so lan­ge im Behäl­ter sein, bis die Par­ti­kel abge­sun­ken sind. Je nach Par­ti­kel­grö­ße ist die Sedi­men­ta­ti­on ein robus­tes, ener­gie­ar­mes und ein­fa­ches Ver­fah­ren zur Fest­stoff­ab­tren­nung durch Nut­zung der Gra­vi­ta­ti­on. Durch Lamel­len­schräg­klä­rer kann es räum­lich opti­miert werden.

 

Oxidation/Reduktion

Oxi­da­ti­ons­ver­fah­ren wer­den unter ande­rem zur Besei­ti­gung bio­lo­gisch schwer abbau­ba­rer orga­ni­scher Ver­bin­dun­gen genutzt, beson­ders effek­tiv durch pho­to­che­mi­sche Rei­ni­gung mit Hydro­xyl­ra­di­ka­len aus Was­ser­stoff­per­oxid oder Ozon mit­tels UV-Licht. Die­se Advan­ced Oxi­da­ti­on Pro­ces­ses (AOP) zer­stö­ren Spu­ren­stof­fe zuver­läs­sig. Mit die­sem Ver­fah­ren kön­nen auch soge­nann­te Schwer­me­tall­kom­ple­xe auf­ge­spal­tet werden.

Adsorp­ti­on und Chemisorption

Adsorp­ti­on ist die Anrei­che­rung von Sub­stan­zen an der Ober­flä­che eines Fest­kör­pers durch van-der-Waals-Kräf­te. Das Adsorp­ti­ons­mit­tel Aktiv­koh­le kann eine Viel­zahl von Sub­stan­zen an ihre porö­se Ober­flä­che bin­den. Dadurch wer­den u.a. orga­ni­sche Ver­bin­dun­gen wie PFAS und ande­re gelös­te Stof­fe effek­tiv aus dem Abwas­ser gebun­den. Dotier­te Aktiv­koh­le und Eisen­hy­dr­o­xid-Gra­nu­lat wer­den genutzt, um Arsen und Schwer­me­tal­le zu ent­fer­nen. Chemisorp­ti­on, bei der Stof­fe durch che­mi­sche Bin­dun­gen an die Ober­flä­che gebun­den wer­den, ist im Gegen­satz zur Adsorp­ti­on oft irreversibel.

 

Neu­tra­li­sa­ti­on

Die Neu­tra­li­sa­ti­on wird zur Ein­stel­lung des pH-Werts ver­wen­det. Ins­be­son­de­re nach Pro­zes­sen wie Fäl­lung und Flo­ckung wer­den dabei nach Bedarf Säu­ren oder Basen zuge­ge­ben. Sie kann auch vor dem bio­lo­gi­schen Ver­fah­ren ein­ge­setzt wer­den, um einen neu­tra­len pH-Wert ein­zu­stel­len, damit die Bak­te­ri­en nicht zer­stört werden.

Fäl­lung

Die Fäl­lung ist ein che­mi­sches Ver­fah­ren zur Abschei­dung eines zuvor gelös­ten Stof­fes aus einer Lösung. Schwer­me­tal­le wer­den durch Zuga­be von geeig­ne­ten Sub­stan­zen aus­ge­fällt, um sie in schwer­lös­li­che Metall-Hydr­o­xi­de umzu­wan­deln. Anio­nen wie z.B. Fluo­rid-Ionen kön­nen durch Reak­tio­nen mit Calcium‑, Eisen- oder Alu­mi­ni­um­sal­zen aus­ge­fällt wer­den. Eisen- und Alu­mi­ni­um­sal­ze kön­nen zur Phos­phat-Aus­fäl­lung ein­ge­setzt werden.

Flo­ckung

Die Flo­ckung ent­fernt feins­te Par­ti­kel aus dem Was­ser, die in Sus­pen­si­on oder als kol­lo­ida­le Lösun­gen vor­lie­gen. Durch geeig­ne­te Che­mi­ka­li­en, genannt Flo­ckungs­mit­tel und Flo­ckungs­hilfs­mit­tel, kön­nen die­se Par­ti­kel zusam­men­ge­ballt wer­den, um Makro­flo­cken zu bil­den, die sedi­men­tie­ren. Dies ver­bes­sert die Absetz­ei­gen­schaf­ten und Ent­wäs­se­rung von Reststoffen.

Ionen­aus­tau­scher

Ionen­aus­tau­scher sind Mate­ria­li­en, die Ionen in einer Lösung durch ande­re Ionen erset­zen kön­nen. Zum Bei­spiel kön­nen Cal­ci­um-Ionen durch Natri­um-Ionen aus­ge­tauscht wer­den. Wenn der Ionen­aus­tau­scher erschöpft ist, muss er rege­ne­riert wer­den. Ionen­aus­tau­scher wer­den zur geziel­ten Ent­fer­nung von Schwer­me­tal­len und Ionen ver­wen­det, z. B. als „Poli­zei­fil­ter“ nach Fällung/Flockung. Sie die­nen auch zur Ent­här­tung, Umsal­zung und Ent­sal­zung von Was­ser. In der Halb­lei­ter­indus­trie sind sie ent­schei­dend für die Erzeu­gung von extrem rei­nem, demi­ne­ra­li­sier­tem Was­ser (Reinst­was­ser).

Die Halb­lei­ter­indus­trie steht vor der Her­aus­for­de­rung, Abwas­ser effek­tiv und effi­zi­ent zu behan­deln, um Umwelt­auf­la­gen zu erfül­len und Res­sour­cen zu scho­nen. DAS Envi­ron­men­tal Experts bie­tet  maß­ge­schnei­der­te Lösun­gen für die indus­tri­el­le Abwas­ser­rei­ni­gung an. Die­se umfas­sen die Pla­nung, den Bau und die Inbe­trieb­nah­me von Abwas­ser­be­hand­lungs­an­la­gen. Sie bie­ten viel­fäl­ti­ge Mög­lich­kei­ten, um die Nach­hal­tig­keit von Pro­duk­ti­ons­pro­zes­sen ins­be­son­de­re auch in der Halb­lei­ter­indus­trie zu verbessern.

Zu den Tech­no­lo­gien gehö­ren bio­lo­gi­sche Ver­fah­ren wie der Moving Bed Bio­film Reac­tor (MBBR) und der Mem­bra­ne Bio Reac­tor (MBR) sowie che­misch-phy­si­ka­li­sche Metho­den wie Fil­tra­ti­on, Flo­ta­ti­on, Neu­tra­li­sa­ti­on und Adsorp­ti­on. Die Wahl der geeig­ne­ten Metho­de hängt von ver­schie­de­nen Fak­to­ren ab, ein­schließ­lich der Art der Ver­un­rei­ni­gun­gen, der Pro­duk­ti­ons­an­for­de­run­gen und der ört­li­chen Umweltauflagen.

Wen­den Sie sich an unse­re Envi­ron­men­tal Experts und las­sen Sie sich bera­ten, wel­che unse­rer Lösun­gen für Sie die rich­ti­ge ist!