BRANCHEN: UNSERE Abgas­rei­ni­gung IM EINSATZ

Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me von DAS Envi­ron­men­tal Expert ent­sor­gen Pro­zess­ab­ga­se aus der Hoch­tech­no­lo­gie-Fer­ti­gung und unter­stüt­zen somit den tech­no­lo­gi­schen Fort­schritt unse­rer Gesell­schaft bei gleich­zei­ti­gem Schutz von Mensch und Umwelt. 

Unse­re Bran­chen und Refe­ren­zen im Über­blick

Lösun­gen zur Abgas­ent­sor­gung von DAS Envi­ron­men­tal Expert sind immer pass­ge­nau. Dabei unter­stüt­zen wir unse­re Kun­den in der Halbleiter‑, Solarzellen‑, LED‑, TFT- und MEMS-Fer­ti­gung bei der Aus­wahl des bes­ten Ver­fah­rens, bei der Opti­mie­rung ihrer Anla­gen­tech­nik und bei der War­tung der instal­lier­ten Basis. 

Effi­zi­en­te Abgas­rei­ni­gung für die Halb­lei­ter­indus­trie

In vie­len Pro­duk­ti­ons­pro­zes­sen in Indus­trie und For­schung wer­den Pro­zess­ga­se ver­braucht und Abga­se erzeugt, bspw. beim Rei­ni­gen der Wafer und im Rah­men von Ätz‑, CVD- und Epi­ta­xie-Pro­zes­sen. Die­se Abga­se sind Treib­haus­ga­se („Green­house Gases“), gif­tig und/oder leicht ent­zünd­bar, und oft mit erheb­li­chen Risi­ken für Pro­duk­ti­ons­stät­ten und Umwelt ver­bun­den.

Abgas­rei­ni­gung für die Solar­in­dus­trie

Unse­re Kun­den aus der Solar­in­dus­trie pro­fi­tie­ren von unse­rem aus­ge­präg­ten tech­ni­schen Ver­ständ­nis für CVD‑, TCO- und Trock­nungs­pro­zes­se. Wir ken­nen die Pro­duk­ti­ons­pro­zes­se für Dünn­schicht-Sili­zi­um-Modu­le und kris­tal­li­ne Zel­len sehr genau und wis­sen, dass die Abgas­rei­ni­gung maß­geb­lich für die Sicher­heit des Fer­ti­gungs­pro­zes­ses ist.

Zuver­läs­si­ge Abgas­rei­ni­gung für die TFT-Indus­trie

Auch bei der Her­stel­lung von TFT Dis­plays fal­len Abga­se an. Sie ent­ste­hen bei­spiels­wei­se bei den Pro­zes­sen, mit denen auf groß­for­ma­ti­gen Glas­sub­stra­ten Dünn­schicht-Tran­sis­to­ren (Thin Film Tran­sis­tors – TFT) erzeugt wer­den. Dazu wer­den, mit Pro­zes­sen wie der che­mi­schen Dampf­pha­sen-Abschei­dung (Che­mi­cal Vapour Depo­si­ti­on – CVD), die ent­spre­chen­den dün­nen Schich­ten auf dem Mate­ri­al abge­schie­den.

Effi­zi­en­te Abgas­rei­ni­gung von DAS für die LED-Indus­trie

Die LED-Indus­trie konn­te in den letz­ten Jah­ren ein kon­ti­nu­ier­li­ches Wachs­tum ver­zeich­nen. Damit ein­her gehen aber auch stei­gen­de Emis­sio­nen, die mit spe­zi­el­len Abgas­rei­ni­gungs-Anla­gen am Point-of-Use behan­delt wer­den müs­sen. Bei der Her­stel­lung von Pro­duk­ten auf Basis der inno­va­ti­ven light emit­ting diode (LED)-Technologie wer­den Ammo­ni­ak und Was­ser­stoff in gro­ßen Men­gen als Pro­zess­ga­se ein­ge­setzt.

Abgas­lö­sun­gen für die Nano­tech­no­lo­gie-Fer­ti­gung

In der Nano­tech­no­lo­gie wer­den win­zi­ge Teil­chen (nános – grch. „Zwerg“) ver­wen­det. Die­se Par­ti­kel haben Dimen­sio­nen vom Ein­zel-Atom bis hin zu etwa hun­dert Nano­me­tern Durch­mes­ser. Auf­grund die­ser gerin­gen Abmes­sun­gen wer­den die Eigen­schaf­ten von Nano­ma­te­ria­li­en sehr stark durch ihre gro­ße Ober­flä­che bestimmt. Damit las­sen sich erwünsch­te Effek­te erzie­len, wie der bekann­te Lotus-Effekt oder die enor­me Strom­be­last­bar­keit von Koh­len­stoff-Nano­röh­ren.

Ent­sor­gungs­tech­nik aus Dres­den für MEMS-Fer­ti­ger

Für Zukunfts­tech­no­lo­gien wie Indus­trie 4.0, selbst­fah­ren­de Auto­mo­bi­le oder das Inter­net der Din­ge („Inter­net of Things“ – IoT) sind MEMS-Bau­tei­le von grund­le­gen­der Bedeu­tung, weil sie Bin­de­glied sind zwi­schen der ana­lo­gen Welt und der digi­ta­len Daten­ver­ar­bei­tung. Ent­spre­chend stark wach­sen der­zeit die Märk­te und Markt­an­tei­le von MEMS.