BRANCHEN: UNSERE Abgasreinigung IM EINSATZ

Abgasreinigungssysteme von DAS Environmental Expert entsorgen Prozessabgase aus der Hochtechnologie-Fertigung und unterstützen somit den technologischen Fortschritt unserer Gesellschaft bei gleichzeitigem Schutz von Mensch und Umwelt. 

Unsere Branchen und Referenzen im Überblick

Lösungen zur Abgasentsorgung von DAS Environmental Expert sind immer passgenau. Dabei unterstützen wir unsere Kunden in der Halbleiter-, Solarzellen-, LED-, TFT- und MEMS-Fertigung bei der Auswahl des besten Verfahrens, bei der Optimierung ihrer Anlagentechnik und bei der Wartung der installierten Basis. 

Effiziente Abgasreinigung für die Halbleiterindustrie

In vielen Produktionsprozessen in Industrie und Forschung werden Prozessgase verbraucht und Abgase erzeugt, bspw. beim Reinigen der Wafer und im Rahmen von Ätz-, CVD- und Epitaxie-Prozessen. Diese Abgase sind Treibhausgase („Greenhouse Gases“), giftig und/oder leicht entzündbar, und oft mit erheblichen Risiken für Produktionsstätten und Umwelt verbunden.

Abgasreinigung für die Solarindustrie

Unsere Kunden aus der Solarindustrie profitieren von unserem ausgeprägten technischen Verständnis für CVD-, TCO- und Trocknungsprozesse. Wir kennen die Produktionsprozesse für Dünnschicht-Silizium-Module und kristalline Zellen sehr genau und wissen, dass die Abgasreinigung maßgeblich für die Sicherheit des Fertigungsprozesses ist.

Zuverlässige Abgasreinigung für die TFT-Industrie

Auch bei der Herstellung von TFT Displays fallen Abgase an. Sie entstehen beispielsweise bei den Prozessen, mit denen auf großformatigen Glassubstraten Dünnschicht-Transistoren (Thin Film Transistors – TFT) erzeugt werden. Dazu werden, mit Prozessen wie der chemischen Dampfphasen-Abscheidung (Chemical Vapour Deposition – CVD), die entsprechenden dünnen Schichten auf dem Material abgeschieden.

Effiziente Abgasreinigung von DAS für die LED-Industrie

Die LED-Industrie konnte in den letzten Jahren ein kontinuierliches Wachstum verzeichnen. Damit einher gehen aber auch steigende Emissionen, die mit speziellen Abgasreinigungs-Anlagen am Point-of-Use behandelt werden müssen. Bei der Herstellung von Produkten auf Basis der innovativen light emitting diode (LED)-Technologie werden Ammoniak und Wasserstoff in großen Mengen als Prozessgase eingesetzt.

Abgaslösungen für die Nanotechnologie-Fertigung

In der Nanotechnologie werden winzige Teilchen (nános – grch. „Zwerg“) verwendet. Diese Partikel haben Dimensionen vom Einzel-Atom bis hin zu etwa hundert Nanometern Durchmesser. Aufgrund dieser geringen Abmessungen werden die Eigenschaften von Nanomaterialien sehr stark durch ihre große Oberfläche bestimmt. Damit lassen sich erwünschte Effekte erzielen, wie der bekannte Lotus-Effekt oder die enorme Strombelastbarkeit von Kohlenstoff-Nanoröhren.

Entsorgungstechnik aus Dresden für MEMS-Fertiger

Für Zukunftstechnologien wie Industrie 4.0, selbstfahrende Automobile oder das Internet der Dinge („Internet of Things“ – IoT) sind MEMS-Bauteile von grundlegender Bedeutung, weil sie Bindeglied sind zwischen der analogen Welt und der digitalen Datenverarbeitung. Entsprechend stark wachsen derzeit die Märkte und Marktanteile von MEMS.