Feinstaub in der Industrie

Feinstaub spielt in der Industrie nicht nur beim Arbeitsschutz eine wichtige Rolle: Im Rahmen industrieller Prozesse müssen entstehende Abgase zuverlässig und der enthaltene Feinstaub sicher abgeschieden werden. Besonders die Hightech-Industrie setzt dabei auf Lösungen der DAS Environmental Expert GmbH.

Fine dust in the industry

Die Industrie gehört zu den größten Feinstaub-Emittenten

Angefangen von der Stromerzeugung über die Logistik bis hin zu Produktionsprozessen und der Abfallbehandlung tragen Industriebetriebe einen großen Teil zur Luftverschmutzung bei. Der Einsatz von Lösungsmitteln, wie zum Beispiel in der chemischen und Mineralstoffindustrie, aber auch die Produktionsprozesse in der Hightech-Industrie sind Beispiele für Feinstaub-Quellen in der Industrie.

Wafer

Feinstaubquellen in der Hightech-Industrie

In der Halbleiterbranche ist beispielsweise im Backend-Bereich das Trennen von Wafern mit dem Laser eine bedeutende Feinstaubquelle. Auch bei der Entsorgung von Prozessabgasen durch thermische Verfahren (Brenner) können Staubpartikel entstehen, insbesondere nach Beschichtungsprozessen, wie z.B. bei Epitaxie-Prozessen, oder bei der Beschichtung großer Flächen wie z.B. in der Herstellung von Solarzellen oder Flachbildschirmen. Ohne zusätzliche Maßnahmen gelangen sie in das Abluftsystem, wo sie zum einen Leitungen zusetzen können („Clogging“) und damit potentiell eine ganze Anlage zum Stillstand zwingen können. Wenn Feinstäube in die Umgebung freigesetzt werden, stellen sie zudem eine Gefahr für Umwelt und Gesundheit dar. In der Fab selbst wird streng darauf geachtet, dass keinerlei Staubpartikel in kritische Bereiche, wie die Reinräume, eingetragen werden, da Feinstaub sowohl das Equipment als auch Produkte wie Wafer beschädigen kann.

Verfahren zur Feinstaubabscheidung

Feinstaub ist eine Gefahr für Mensch und Maschine. Insbesondere im Rahmen industrieller Prozesse müssen entstehende Abgase zuverlässig und sicher behandelt und der enthaltene Feinstaub abgeschieden werden. Dafür sind verschiedene Verfahren in der Anwendung:

Zyklonabscheider, elektrostatische Abscheider, Nassabscheider und filternde Abscheider. Zur Abscheidung von Feinstaub, insbesondere für die PM2,5 Fraktion und Ultrafeine Partikel, werden meistens elektrostatische Abscheider oder filternde Abscheider genutzt. Zyklonabscheider eignen sich dagegen besonders für gröbere Partikel.

Electrostatic separators
Elektrostatische Abscheider

Elektrostatische Filter entfernen Partikel, Aerosole und Kondensate aus dem Abgasstrom mithilfe eines elektrischen Felds. Sowohl feine und feinste Stäube als auch kondensierbare organische Verbindungen werden zuverlässig und effizient aus den Abgasen entfernt.

Wet separators
Nassabscheider

Abgaswäscher bringen den Abgasstrom mit einer Waschflüssigkeit in Kontakt, die enthaltene Partikel bindet und teilweise löst. Das entstandene Gemisch wird vom Abgasstrom getrennt und abgeschieden; die Waschflüssigkeit aufbereitet.

Ein lila Symbol innerhalb eines Kreises zeigt eine rechteckige Form mit drei horizontalen Sektionen, die zunehmende Punktdichten von links nach rechts darstellen, was auf einen Filtrationsprozess hinweisen könnte.
Filternde Abscheider

Das Abgas durchströmt beim filternden Abscheider ein Filterelement, meist von außen nach innen. Dabei setzt sich das Filtrat auf dem Filtermedium ab; es bildet sich ein so genannter Filterkuchen – eine Staubschicht, die regelmäßig entfernt werden muss.

Lösungen für verschiedene Feinstaubbelastungen

Erfahren Sie auf der folgenden Seite, welche technischen Lösungen in der Praxis zum Einsatz kommen können.