In der Halb­lei­ter­fer­ti­gung spielt die effek­ti­ve Ent­fer­nung von Stick­oxi­den (NOx) eine zen­tra­le Rolle.

Als DeN­Ox wird ein Pro­zess bezeich­net, mit dem Stick­stoff­oxi­de ent­fernt wer­den, die wäh­rend der Halb­lei­ter­fer­ti­gung sowie der nach­fol­gen­den Rei­ni­gung der Pro­zess­ga­se in der soge­nann­ten Sub­fab ent­ste­hen. Stick­stoff­oxi­de sind schäd­li­che Ver­bin­dun­gen, die Umwelt und Men­schen gefähr­den. Der DeN­Ox-Pro­zess besteht dar­in, mit Hil­fe eines Kata­ly­sa­tors sowie einem Reduk­ti­ons­mit­tel Stick­stoff­oxi­de aus den Gasen zu absor­bie­ren oder che­misch umzu­wan­deln, bevor sie in die Atmo­sphä­re gelan­gen. Dies trägt dazu bei, die Umwelt­be­las­tung zu redu­zie­ren. 

DAS Envi­ron­men­tal Experts unter­stützt sei­ne Kun­den mit inno­va­ti­ven Lösun­gen zur effi­zi­en­ten Abgas­rei­ni­gung. In Koope­ra­ti­on mit der TU Dres­den sowie der TU Berg­aka­de­mie Frei­berg hat DAS EE die weg­wei­sen­de Stand-Alo­ne-Lösung TSUGA für die sekun­dä­re Abgas­rei­ni­gung ent­wi­ckelt, die Bren­ner-Wäscher-Sys­te­me opti­mal ergänzt und eine nach­hal­ti­ge­re Pro­duk­ti­on ermöglicht.